[发明专利]光阻去除反应腔石英管的安装方法

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造中光阻去除工艺设备，尤其涉及光阻去除反应腔石英管的安装方法。

背景技术

在集成电路制造中，蚀刻工艺完成后，需采用等离子体光阻去除工艺将残留的光阻去除干净，此方法系利用氧气在等离子体中所产生只自由基(Radical)与光阻(高分子的有机物)发生作用，产生挥发性的气体，再由真空泵抽走，达到光阻去除的目的。

光阻去除设备石英管部位的结构，如图4所示，上“O”形密封圈2和下“O”形密封圈8正常使用寿命为一年，为满足工艺条件的要求需定期更换，拆卸更换后再对各部件进行组装，目前安装石英管组件采用纯手工的方法，安装步骤为：①将石英管5置与护套4之内，从石英管的上管口压入上“O”形密封圈2；②盖上石英管的上盖1，用螺栓把石英管的上盖1与石英管的护套4连接在一起，锁紧螺栓压紧“O”形密封圈，使石英管上盖、石英管护套及石英管组合于一体；③从石英管的下管口压入下“O”形密封圈8，将带有上下“O”形密封圈的石英管及护套整体竖直放置于反应室机台上，同时使石英管的下管口嵌入反应室的凹槽内，并连接固定。需说明的是，虽然石英管5置与护套4之内，相互之间为间隙配合可以滑动，但安装后，通过锁紧螺栓压紧上下两“O”形密封圈，且会使两“O”形密封圈产生一定的变形，从而死死抱紧石英管，使石英管在护套内不能上下滑动。石英管下管口的下方装有格栅板9，通过螺栓10与反应室盖子相固定。

石英管上盖与石英管上管口之间的间隙S1、石英管下管口与格栅板之间的间隙S2，显然，上述安装方法误差较大，这二个间隙难以保证均匀，会出现S1较小而S2较大，或出现S1较大而S2较小。当工艺系统运行时，反应室的真空负压会使石英管上盖发生变形而挤压石英管上管口，石英管下管口与格栅板也会发生压迫；另外，应工艺需要开启反应室盖子时各部件之间的震动也会使石英管管口受到碰挤；总之，间隙的不均匀，易造成圆筒状石英管的上下管口边沿受到不平衡挤压而破裂，石英管的破裂发生率高达52.5％，一旦破损需重新更换，每次因破损而重新拆装需花费大约8hrs，同时石英管碎片会掉落至工艺产品上，对工艺生产带来一定威胁。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的上述不足，提供一种光阻去除反应腔石英管的安装方法，旨在有效保证石英管上下管口边沿的间隙，降低石英管的破裂发生率，确保光阻去除工艺的安全进行。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

光阻去除反应腔石英管的安装方法，其特征在于：包括以下步骤——

①加工制作模具托盘，托盘中心开有圆柱形凹槽，其凹槽直径∮＝20.4±0.2cm，凹槽深度h＝1.10±0.01cm，还加工一只厚度L＝0.55±0.05mm的软滑片；

②模具托盘平放，将石英管竖直放置于模具托盘上、使石英管的下管口嵌入托盘的凹槽内，将护套套于石英管外壁；

③从石英管的上管口压入上“O”形密封圈；

④盖上石英管的上盖，通过螺栓把石英管的上盖与石英管的护套连接在一起，并通过锁紧螺栓来压紧“O”形密封圈，使石英管上盖、石英管护套及石英管组合于一体；

⑤将石英管上盖、石英管护套和石英管所组合的整体侧放或悬空，使软滑片从石英管下管口伸进石英管内，用软滑片滑过石英管上盖与石英管上管口之间的间隙，检测间隙是否均匀；若不均匀可将组合的整体重新放置于模具托盘上，通过调节上盖螺栓使其间隙均匀；

⑥从石英管的下管口压入下“O”形密封圈；

⑦将预装好的满足间隙要求的带有上下“O”形密封圈的由石英管上盖、石英管护套及石英管所组合的整组安装于反应室上并对中，与反应室盖子连接固定。

进一步地，上述的光阻去除反应腔石英管的安装方法，所述模具托盘的材质为塑料。

再进一步地，上述的光阻去除反应腔石英管的安装方法，所述软滑片为塑料制件，表面粗糙度为1.6。

本发明技术方案的突出的实质性特点和显著的进步主要体现在：

①本发明模拟安装环境，使安装既精确又便于检查，有效保证石英管上下管口边沿的间隙均匀，避免石英管发生破裂，确保光阻去除工艺的安全进行；

②本发明技术方案新颖，降低了生产成本，经济效益明显。

附图说明

下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：

图1：模具托盘的剖面结构示意图；

图2：软滑片的结构示意图；

图3：石英管组件与模具托盘的预装配示意图；

图4：石英管组件与机台的装配示意图。

图中各附图标记的含义见下表。