[发明专利]真空获得系统

权利要求书

1.一种真空获得系统，包括反应室、分子泵和真空泵，所述分子泵的入口通过入口阀与反应室连接，所述分子泵的出口通过排出阀与真空泵连接，在所述排出阀和真空泵之间的出口管路与反应室之间连接有安装旁抽阀的旁抽管路，其特征在于，所述真空获得系统还包括分子泵保护装置，该分子泵保护装置根据对系统故障的检测而产生报警信号来控制关闭分子泵的入口阀和/或排出阀。

2.根据权利要求1所述的真空获得系统，其特征在于，所述分子泵保护装置包括：

分子泵入口侧报警装置，其检测分子泵入口压力，当分子泵入口压力超过设定值时输出报警信号；

分子泵出口侧报警装置，其检测分子泵出口压力，当分子泵出口压力超过设定值时输出报警信号；

分子泵保护控制装置，接收到来自分子泵入口侧报警装置的报警信号时，关闭分子泵的入口阀；接收到来自分子泵出口侧报警装置的报警信号时，关闭分子泵的排出阀。

3.根据权利要求2所述的真空获得系统，其特征在于，所述的分子泵保护装置还包括：

系统报警装置：检测系统中各设备工作情况，当设备工作异常时输出报警信号，由分子泵保护控制装置接收系统报警装置的报警信号，关闭分子泵的入口阀和/或排出阀。

4.根据权利要求3所述的真空获得系统，其特征在于，所述系统报警装置包括：

真空泵报警装置：检测所述真空泵的工作状况，当真空泵发生故障时向所述分子泵保护控制装置发出报警信号，分子泵保护控制装置接收报警信号，关闭分子泵的排出阀。

5.根据权利要求2至4任一项所述的真空获得系统，其特征在于，所述分子泵保护控制装置包括互锁电路，互锁电路与分子泵的入口阀和/或排出阀电连接，当分子泵保护控制装置接收到报警信号时，互锁电路自动控制分子泵的入口阀和/或排出阀关闭。

6.根据权利要求5所述的真空获得系统，其特征在于，所述互锁电路包括多个报警输入端，及与多个报警输入端相配设置的与非逻辑电路，互锁电路通过与非逻辑电路控制分子泵的入口阀和/或排出阀关闭。

7.根据权利要求6所述的真空获得系统，其特征在于，所述与非逻辑电路包括与多个报警输入端相配设置的多个接触器，多个接触器串联连接。

8.根据权利要求5所述的真空获得系统，其特征在于，所述的分子泵保护控制装置还包括串接在所述互锁电路中的互锁屏蔽电路，该互锁屏蔽电路中包括屏蔽接触器，该屏蔽接触器吸合时，可使互锁电路与入口阀和/或排出阀间的电连接断开，并由控制信号单独控制入口阀和/或排出阀打开或关闭。

9.根据权利要求1至4任一项所述的真空获得系统，其特征在于，所述分子泵入口阀为摆阀，所述分子泵入口侧报警装置为第一真空开关，第一真空开关与所述反应室相连接，并且检测反应室内压力。

10.根据权利要求1至4中任一项所述的真空获得系统，其特征在于，所述分子泵出口侧报警装置为第二真空开关，第二真空开关与所述排出阀与真空泵之间的出口管路相连接，并且检测出口管路内压力。