[发明专利]一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法

权利要求书

1.一种LOADLOCK监控和自动复位系统，其特征在于，

包括：设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和LOADLOCK，其中，

所述设备主控制系统，可发出信号使所述LOADLOCK及机械手开始运作；所述机械手，将信号反馈给所述设备主控制系统；所述光信号发射器，可接收所述设备主控制系统信号，发出一列光信号；所述光信号接收器，可接收所述设备主控制系统信号，与光信号发射器同脉冲触发并检测所述光信号发射器发来的光信号；所述数据分析判断模块，可根据所述光接收信号器发来的数据进行处理和判断，并反馈到所述设备主控制系统；所述LOADLOCK，可根据所述设备主控制系统给出的信号进行调整。

2.一种LOADLOCK监控和自动复位方法，可运用于权利要求1所述的LOADLOCK监控和自动复位系统上，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、所述设备主控制系统，发出传动信号使LOADLOCK及机械手开始动作；

步骤二、所述机械手，把到位信号反馈给所述设备主控制系统；

步骤三、所述光信号发射器，接收所述设备主控制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；

步骤四、所述光信号接收器，检测光信号发射器发出的光信号并将数据发送给所述数据分析判断模块；

步骤五、所述数据分析判断模块，根据所述光接收信号器的数据进行处理和判断，并把判断信号反馈到所述设备主控制系统；所述设备主控制系统发出指令给所述LOADLOCK；

步骤六、所述LOADLOCK将根据所述设备主控制系统给出的指令进行对应的步进调整。

3.根据权利要求2所述的LOADLOCK监控和自动复位方法，其特征在于，所述步骤五判断信号包括：报警信号、正常作业信号或补正信号，所述步骤五指令包括：发出报警、正常作业或补正指令。

4.根据权利要求3所述的LOADLOCK监控和自动复位方法，其特征在于，所述步骤五指：所述数据分析判断模块，根据接收到的数据，先判断是否超过异常报警的预定值，如超过则发出报警信号给所述设备主控制系统，所述设备主控制系统发出报警指令，如未超过，则发出正常作业信号反馈给所述设备主控制系统，所述设备主控制系统发出正常作业的指令；同时，所述数据分析判断模块继续与各标准进行比对或运算，并调用其它批次数据进行分析和判断后发现异常时，再次发出补正信号反馈给设备主控制系统，所述设备主控制系统发出补正指令。

5.根据权利要求4所述的LOADLOCK监控和自动复位方法，其特征在于，所述判断是否超过异常报警的预定值指：1枚发生大于Zmax时，发出报警信号；或连续5枚发生同一方向的偏差量大于Z2时，发出报警信号；或同批次中有3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同向偏差但与前3枚是反方向偏差时，发出报警信号；或连续5批每批都出现4枚或4枚以上超过Z1且是同向偏差，而另有4枚或4枚以上超过Z1且同向偏差但与前几枚是反方向偏差时，发出报警信号；或如发现机械手的厚度与测得的值Wrx偏差较大时，发出停机报警信号；或发现硅片的厚度与测得的值Wx偏差较大时，发出停机报警信号；其中：Zmax为最大偏差量，即偏差量上限规格；Z1为偏差量报警规格；Z2为偏差量自动控制规格；Wx为硅片的厚度；Wrx为第x枚硅片实际被监控时机械手的厚度。

6.如权利要求4所述的LOADLOCK监控和自动复位方法，其特征在于，所述数据分析判断模块判断发出补正信号的标准有：如连续3批中每批都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏差而其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将3批中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；或如果20批制品中出现5批都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏差而同批次中的其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将5批中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；或如果连续3批中都有10枚以上发生偏差超过Z1且是同向偏差而同批次中的其它硅片无反向偏差超Z1时，此时数据分析判断模块将3批中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；其中：Z1为偏差量报警规格；Z2为偏差量自动控制规格。