[发明专利]一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种自动监控和控制系统，尤其涉及是指一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法。

背景技术

目前LOADLOCK(预装载台)的作用是让被搬送物体从非真空状态到另高真空状态前的过渡腔体，它可以达到一定程度的真空度，它的产生可以省很多从大气到高真空的抽真空时间，它自带的感知器也能对硅片的缺损进行检测所以被广泛运用于批量生产的高真空设备。

但是，在半导体设备当中的应用，存在着LOADLOCK偏移导致硅片划伤的隐患，而此种隐患在目前的技术手段下无法事前预知和控制。一旦发生划伤受害面将非常之大。

因此，在此技术领域中，需要一种LOADLOCK监控和自动复位系统，可以有效监控LOADLOCK位置的偏差，同时对偏差量进行分析和判断并做出报警或对偏差进行自动调整。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法，可以检测LOADLOCK的位置偏差，防止在操作过程中硅片的划伤。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种LOADLOCK监控和自动复位系统，其包括：设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和LOADLOCK，其中：设备主控制系统，可发出信号使LOADLOCK及机械手开始运作；机械手，将信号反馈给设备主控制系统；光信号发射器，可接收设备主控制系统信号，发出一列光信号；光信号接收器，可检测光信号发射器发来的光信号；数据分析判断模块，可根据光接收信号器发来的数据进行处理和判断，并反馈到设备主控制系统；LOADLOCK，可根据设备主控制系统给出的信号进行调整。

为解决上述技术问题，本发明还提供了一种LOADLOCK监控和自动复位方法，可运用于上述系统上，包括如下步骤：步骤一、设备主控制系统，发出传动信号使LOADLOCK及机械手开始动作；步骤二、机械手，把到位信号反馈给所述设备主控制系统；步骤三、光信号发射器，接收设备主控制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；步骤四、光信号接收器，检测光信号发射器发出的光信号并将数据发送给数据分析判断模块；步骤五、数据分析判断模块，根据光接收信号器的数据进行处理和判断，并把判断信号反馈到设备主控制系统；设备主控制系统发出指令给LOADLOCK；步骤六、LOADLOCK将根据设备主控制系统给出的指令进行对应的步进调整。上述步骤五判断信号包括：报警信号、正常作业信号或补正信号。指令包括：发出报警、正常作业或补正指令。上述步骤五具体指：数据分析判断模块，根据接收到的数据，先判断是否超过异常报警的预定值，如超过则发出报警信号给设备主控制系统，设备主控制系统发出报警指令，如未超过，则发出正常作业信号反馈给设备主控制系统，设备主控制系统发出正常作业的指令；同时，数据分析判断模块继续与各标准进行比对或运算，并调用其它批次数据进行分析和判断后发现异常时，再次发出补正信号反馈给设备主控制系统，设备主控制系统发出补正指令。上述判断是否超过异常报警的预定值指：1枚发生大于Zmax时，发出报警信号；或连续5枚发生同一方向的偏差量大于Z2时，发出报警信号；或同批次中有3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同向偏差但与前3枚是反方向偏差时，发出报警信号；或连续5批每批都出现4枚或4枚以上超过Z1且是同向偏差，而另有4枚或4枚以上超过Z1且同向偏差但与前几枚是反方向偏差时，发出报警信号；或如发现机械手的厚度与测得的值Wrx偏差较大时，发出停机报警信号；或发现硅片的厚度与测得的值Wx偏差较大时，发出停机报警信号。上述数据分析判断模块判断发出补正信号的标准有：如连续3批中每批都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏差而其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将3批中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；或如果20批制品中出现5批都有4枚或4枚以上偏差超过Z2且是同向偏差而同批次中的其它硅片无反向偏差超Z2时，此时数据分析判断模块将5批中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号；或如果连续3批中都有10枚以上发生偏差超过Z1且是同向偏差而同批次中的其它硅片无反向偏差超Z1时，此时数据分析判断模块将3批中的所有偏差量进行求平均，根据平均偏差量做出补正判断，发出补正信号。

本发明由于采用上述系统及方法，可有效监控LOADLOCK位置的偏差，同时对偏差量进行分析和判断并做出报警或对偏差进行自动调整的补正指令。

附图说明