[发明专利]湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统有效
| 申请号： | 200610118341.4 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101185928A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;邵业明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;B08B3/08;F17D1/08;G08B21/18;H01L21/302 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 清洗 机台 自动 紧急 水系 | ||
【权利要求书】：
1.湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统包括提供超纯水的超纯水供应装置，与超纯水供应装置输出端串连的常闭阀门，与常闭阀门输出端串连的蚀刻槽；其特征在于，该系统还包括一个与常闭阀门并联的常开阀门，该常开阀门的输入端连接到超纯水供应装置的输出端。
2.如权利要求1所示的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统，其特征在于，该系统还包括一个漏液探测器，用于检测是否有水流过，如果有水流过，该探测器会自动报警。
3.如权利要求2所示的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统，其特征在于，该漏液探测器的输入端与常开阀门的输出端串连，其仅在有电信号的时候工作。
4.如权利要求1所示的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统，其特征在于，该系统还包括一个单向阀门用以防止水倒流，该单向阀门的输入端与漏液探测器的输出端串连。
5.如权利要求1所示的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统，其特征在于，单向阀门的输出端与常闭阀门的输出端并联连至蚀刻槽。
6.如权利要求1所示的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统，其特征在于，所述的常闭阀门在有电信号的时候可自动开启，没有电信号的时候处于关闭状态。
7.如权利要求1所示的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统，其特征在于，所述的常开阀门在没有电信号的时候可自动开启，在电信号的作用下处于关闭状态。
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