[发明专利]湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种湿蚀刻清洗机台，具体地说，涉及湿蚀刻清洗机台的紧急补水系统。

背景技术

目前现有技术中使用的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统包括超纯水供应装置1，与超纯水供应装置1输出端串连的常闭阀门2，与常闭阀门串连的蚀刻槽3。超纯水供应装置用于提供稀释氟化氢的超纯水。常闭阀门在有电信号的时候，可以自动开启。蚀刻槽3包括一个酸槽31及嵌设在酸槽内部的内槽32。晶圆置于酸槽内，内槽向酸槽供应氟化氢，用于清洗晶圆表面的氧化层，如果超过蚀刻的预定时间，常闭阀门会自动开启，超纯水供应装置将超纯水注入蚀刻槽内，以稀释氟化氢。

然而，在实际制程中，会突遇断电的情况，因为没有电信号，常闭阀门就不会开启，如果此时晶圆蚀刻超过预定时间，超纯水将没有办法注入蚀刻槽内，导致晶圆报废。

发明内容

本发明的目的在于提供改进的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统，其可以在断电的情况下自动将超纯水注入蚀刻槽内。

为实现上述目的，本发明的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统包括超纯水供应装置，与超纯水供应装置输出端串连的常闭阀门，与常闭阀门输出端串连的蚀刻槽；超纯水供应装置用于提供稀释氟化氢的超纯水，该系统还包括一个与常闭阀门并联的常开阀门，其输入端连接到超纯水供应装置的输出端。

该系统还包括一个漏液探测器，用于检测是否有水流过，如果有水流过，该探测器会自动报警。

该漏液探测器的输入端与常开阀门的输出端串连，其仅在有电信号的时候工作。

所述的单向阀门用以防止水倒流，该单向阀门的输出端与常闭阀门的输出端并联连至蚀刻槽。

所述的常闭阀门在有电信号的时候可自动开启，没有电信号的时候处于关闭状态。

所述的常开阀门在没有电信号的时候可自动开启，在电信号的作用下处于关闭状态。

与现有技术相比，本发明的系统在断电的情况下，当晶圆蚀刻的时间超过预定时间，常开阀门就会开启，超纯水经由常开阀门，漏液探测器，单向阀门注入蚀刻槽内，从而有效防止断电情况下超纯水不能及时注入蚀刻槽而造成晶圆报废。

附图说明

通过以下对本发明一实施例结合其附图的描述，可以进一步理解其发明的目的、具体结构特征和优点。其中，附图为：

图1为采用现有技术中湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统的架构图；

图2为采用本发明湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统的架构图。

具体实施方式

本发明的湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统包括超纯水供应装置1，与超纯水供应装置1输出端串连的常闭阀门2，与常闭阀门2串连的蚀刻槽3。超纯水供应装置1输出超纯水。常闭阀门2在有电信号的时候，可以自动开启。蚀刻槽3包括一个外槽31及设置在外槽31内部的内槽32。

本发明还包括T型管4，常开阀门5，漏液探测器6以及单向阀门7。T型管4有两个输出端和一个输入端，其输入端连接到超纯水供应装置1，第一输出端连接至常闭阀门2，第二输出端连接至常开阀门5的输入端。常开阀门5的输出端与漏液探测器6的输入端串连，单向阀门7的输入端与漏液探测器6的输出端，单向阀门7的输出端与常闭阀门2的输出端并连至蚀刻槽3。常开阀门5在没有接收到电信号的时候可以自动开启，当有电信号时候始终处于关闭状态。当有电信号的时候，由于常开阀门5不工作，所以常开阀门5，漏夜探测器6以及单向阀门7构成的支路不应该有水流过。漏液探测器6只在有电信号的时候工作，检测是否有水流过，如果一旦检测到有水流过，就会自动报警。单向阀门7用于保证超纯水的水流方向，防止水倒流。

晶圆置于酸槽31内，内槽32向酸槽31供应氟化氢，用于清洗酸槽31内晶圆表面的氧化层，在电源正常供电的情况下，常开阀门5处于关闭状态，如果清洗氧化层的时间超出预定的时间时，超纯水供应装置1通过T型管4的第一输出端以及常闭阀门2，向内槽32注入超纯水，从而达到稀释酸槽31内的氟化氢，减缓晶圆表面氧化层的清洗过程。

在电源非正常供电的情况下，常闭阀门2处于关闭状态，超纯水供应装置1通过T型管4的第二输出端，常开阀门5，漏液探测器6以及单向阀门7向内槽32注入超纯水。