[发明专利]半导体生产线的监控方法及系统

权利要求书

1.一种半导体生产线的监控方法，包括：

获取生产线中各个半导体设备的状态信息；

生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；

通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；

其中，通过所述链接将所述半导体设备的状态信息更新至相应的信息标识。

2.如权利要求1所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于：所述获取生产线中各个半导体设备的状态信息的步骤如下：

将生产线中各个半导体设备的状态信息发送至制造执行系统；

所述制造执行系统在服务器中生成半导体设备状态信息的数据库。

3.如权利要求1所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于：所述信息标识为数字、符号、文字、图标中的一种或其它可记录于信息载体并能够被识别的标记。

4.如权利要求3所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于：所述图标用特定的颜色信息反应相应半导体设备不同的状态信息。

5.如权利要求1所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于：所述半导体设备包括多个腔室或部件单元、监控所述腔室或部件单元状态信息的传感装置及用于将所述传感装置监测的状态信息反馈至服务器的控制计算机。

6.如权利要求1或2所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于：所述状态信息包括半导体设备的标识名称、各个腔室或部件单元的工作状态、参数设定及该半导体设备中正在运行和将要运行的产品的工艺参数。

7.一种半导体生产线的监控方法，包括：

获取生产线中各个半导体设备的状态信息；

生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；

通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；

其中，通过所述链接将所述状态信息更新至相应的信息标识，并将所述对信息标识识别后所采取的操作反馈至相应的半导体设备。

8.一种半导体生产线的监控系统，包括：

数据获取装置，用于获取生产线中各个半导体设备的状态信息；

数据处理装置，用于生成所述状态信息的信息标识，并在所述状态信息和其相应的信息标识之间建立链接，所述链接用于将所述半导体设备的状态信息更新至所述信息标识。

9.如权利要求8所述的半导体生产线的监控系统，其特征在于：所述信息标识为数字、符号、文字、图标中的一种或其它可记录于信息载体并能够被识别的标记。

10.如权利要求9所述的半导体生产线的监控系统，其特征在于：所述图标用特定的颜色信息反应相应的半导体设备不同的状态信息。

11.如权利要求8所述的半导体生产线的监控系统，其特征在于：所述监控系统还包括输入输出系统，用以输出所述信息标识并输入对所述信息标识识别后所采取的操作信息。

12.如权利要求8所述的半导体生产线的监控系统，其特征在于：所述半导体设备包括多个腔室或部件单元、监控所述腔室或部件单元状态信息的传感装置及用于将所述传感装置监测的状态信息反馈至服务器的控制计算机。

13.如权利要求8所述的半导体生产线的监控系统，其特征在于：所述状态信息包括半导体设备的标识名称、各个腔室或部件单元的工作状态、参数设定及该半导体设备中正在运行和将要运行的产品的工艺参数。

14.一种半导体生产线的监控系统，包括：

数据获取装置，用于获取生产线中各个半导体设备的状态信息；

数据处理装置，用于生成所述生产线上的半导体设备的状态信息的信息标识，并在所述状态信息和其相应的信息标识之间建立链接，所述链接用于将所述半导体设备的状态信息更新至所述信息标识，并将所述对信息标识识别后所采取的操作反馈至相应的半导体设备。