[发明专利]半导体生产线的监控方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种半导体制造中生产线的监控方法及系统。

背景技术

半导体器件的制造过程中涉及到上百道工序和多台设备，特别是随着半导体制造向高集成度方向发展，制造过程采用了高集成度的流水线作业，并更多的依赖于高自动化的设备。生产过程中，需要通过高效有序的生产调度将制造工厂中的资源充分利用，以提高效率并降低成本。专利号为200510026662.7的中国专利公开了一种生产线的动态调度方法，通过该方法可实现动态的实时生产调度，较大限度的整个利用生产中的各种资源，降低成本。然而，这需要实时有效的监控生产线上各种半导体设备生产运行状态，以减小设备空置时间及降低故障率。现有的一种对半导体制造工厂生产线的监控方法和系统如下：

如图1所示，所述监控系统包括生产线的半导体设备100，邮件或消息服务器108，终端106。生产线的半导体设备100通过局域网和所述服务器108连接，所述终端106通过局域网或无线网络和所述服务器108连接。上述监控系统在工作时，所述半导体设备100自身的控制计算机将状态信息传送至服务器108，所述服务器108判断所述状态信息的类型，若是报警或出错信息，所述服务器108触发自身的发射单元将所述报警或出错信息发送至终端106。上述监控系统和方法存在如下缺陷：设备状态信息单一、滞后，无法及时全面的反应设备状态信息。

图2为现有另一种监控系统示意图。如图2所示，该监控系统包括生产线上的半导体设备200，服务器202和终端计算机204，所述半导体设备200、服务器202和终端计算机204通过局域网连接。半导体设备200中有多个传感器，所述传感器监测半导体设备中各个单元(unit)状态信息后发送至所述半导体设备200自身的控制计算机201，所述控制计算机201通过制造执行系统将所述信息传送至服务器202，并生成数据库。通过所述终端计算机204访问所述服务器202，调出服务器202数据库中相关半导体设备的状态信息，并传送至终端计算机204。

上述监控方法及系统存在如下缺陷：所述终端计算机204每一次只能访问调出一台设备或一个部门中相关半导体设备的状态信息，不能同时调用多台半导体设备或整个生产线的半导体设备的状态信息，使得对生产线中设备的监控和管理处于一种分立的状态。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种半导体生产线的监控方法及系统，以解决现有生产监控方法和系统无法同时监测整个生产线的各个半导体设备的状态信息的问题。

为达到上述目的，本发明提供的一种半导体生产线的监控方法，包括：

获取生产线中各个半导体设备的状态信息；生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；其中，通过所述链接将所述半导体设备的状态信息更新至相应的信息标识。

所述获取生产线中各个半导体设备的状态信息的步骤如下：将生产线中各个半导体设备的状态信息发送至制造执行系统；所述制造执行系统在服务器中生成半导体设备状态信息的数据库。

所述信息标识为数字、符号、文字、图标中的一种或其它可记录于信息载体并能够被识别的标记。

所述图标用特定的颜色信息反应相应半导体设备不同的状态信息。

所述半导体设备包括多个腔室或部件单元、监控所述腔室或部件单元状态信息的传感装置及用于将所述传感装置监测的状态信息反馈至服务器的控制计算机。

所述状态信息包括半导体设备的标识名称、各个腔室或部件单元的工作状态、参数设定及该半导体设备中正在运行和将要运行的产品的工艺参数。

本发明还提供一种半导体生产线的监控方法，包括：获取生产线中各个半导体设备的状态信息；生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；其中，通过所述链接将所述状态信息更新至相应的信息标识，并将所述对信息标识识别后所采取的操作反馈至相应的半导体设备。

相应的，本发明提供一种半导体生产线的监控系统，包括：数据获取装置，用于获取生产线中各个半导体设备的状态信息；数据处理装置，用于生成所述状态信息的信息标识，并在所述状态信息和其相应的信息标识之间建立链接，所述链接用于将所述半导体设备的状态信息更新至所述信息标识。

所述信息标识为数字、符号、文字、图标中的一种或其它可记录于信息载体并能够被识别的标记。