[发明专利]彩色滤光片的制造方法

权利要求书

1.一种彩色滤光片的制造方法，包括：

在较低的温度下形成复合层；以及

在较高的温度下进行退火工艺。

2.如权利要求1所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较低的温度高于摄氏0度且低于摄氏150度。

3.如权利要求1所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较高的温度为摄氏300度至900度。

4.如权利要求1所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较高的温度为摄氏300度至400度。

5.如权利要求1所述的彩色滤光片的制造方法，其中该退火工艺所使用的气体选自于氮气、氮气及氢气、氨气、氨气及氢气所组成的族群其中之一。

6.如权利要求1所述的彩色滤光片的制造方法，其中该退火工艺的时间为10分钟至4小时。

7.如权利要求1所述的彩色滤光片的制造方法，其中该复合层包括由氧化钛层与氧化硅层交错堆叠而成的堆叠层、五氧化二钽层与氧化硅层交错堆叠而成的堆叠层或是硫化锌层与氟化镁层交错堆叠而成的堆叠层。

8.一种彩色滤光片的制造方法，包括：

在基板上形成结构松散的复合层；

图案化该结构松散的该复合层，以形成图案化复合层；以及

进行处理步骤，以使该图案化第一复合层的结构致密化，形成滤光片。

9.如权利要求8所述的彩色滤光片的制造方法，其中：

该结构松散的该复合层是在较低的温度下形成；以及

该处理步骤是在较高的温度下进行。

10.如权利要求9所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较低的温度高于摄氏0度且低于摄氏150度。

11.如权利要求9所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较高的温度为摄氏300度至900度。

12.如权利要求9所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较高的温度为摄氏300度至400度。

13.如权利要求9所述的彩色滤光片的制造方法，其中该处理步骤包括退火工艺。

14.如权利要求13所述的彩色滤光片的制造方法，其中该退火工艺所使用的气体选自于氮气、氮气及氢气、氨气、氨气及氢气所组成的族群其中之一。

15.如权利要求13所述的彩色滤光片的制造方法，其中该退火工艺的时间为10分钟至4小时。

16.如权利要求9所述的彩色滤光片的制造方法，其中该结构松散的该复合层包括氧化钛层与氧化硅层交错堆叠而成的堆叠层、五氧化二钽层与氧化硅层交错堆叠而成的堆叠层或是硫化锌层与氟化镁层交错堆叠而成的堆叠层。

17.一种彩色滤光片的制造方法，包括：

在基板上形成结构松散的第一复合层；

图案化该结构松散的该第一复合层，以形成图案化第一复合层；

在该基板上形成结构松散的第二复合层；

图案化该结构松散的该第二复合层，以形成图案化第二复合层；

在该基板上形成结构松散的第三复合层；

图案化该结构松散的该第三复合层，以形成图案化第三复合层；以及

进行处理步骤，以使该图案化第一复合层、该图案化第二复合层以及该图案化第三复合层的结构致密化，以分别形成第一滤光片、第二滤光片与第三滤光片。

18.如权利要求17所述的彩色滤光片的制造方法，其中：

该结构松散的该第一复合层、该第二复合层与该第三复合层是在较低的温度下形成；以及

该处理步骤是在较高的温度下进行。

19.如权利要求18所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较低的温度高于摄氏0度且低于摄氏150度。

20.如权利要求18所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较高的温度为摄氏300度至900度。

21.如权利要求18所述的彩色滤光片的制造方法，其中该较高的温度为摄氏300度至400度。

22.如权利要求17所述的彩色滤光片的制造方法，其中该处理步骤包括退火工艺。