[发明专利]自动校正机械手臂

权利要求书

1.一种自动校正机械手臂，其包括一主体，一用以承载晶圆的晶圆承载夹持机构以及至少一个连接该主体与晶圆承载夹持机构的连接臂，其特征在于，该自动校正机械手臂还包括设置在晶圆承载夹持机构上的多个光学感测器和多个位移感测器，该多个光学感测器包括至少一对第一光学感测器和至少一个第二光学感测器，该对第一光学感测器设置在该晶圆承载夹持机构远离该连接臂的一端处，该第二光学感测器与该对第一光学感测器位于至少两条直线上，该多个光学感测器用以确定晶圆的圆心；该多个位移感测器分别设置在晶圆承载夹持机构上，且该多个位移感测器位于至少两条直线上以感测确定晶圆的相对水平度。

2.如权利要求1所述的自动校正机械手臂，其特征在于，该晶圆承载夹持机构包括一与连接臂相连接的基部和一从该基部一端延伸出来的承载部，该第一及第二光学感测器分别设置在该承载部上，该多个位移感测器分别设置在该承载部上。

3.如权利要求2所述的自动校正机械手臂，其特征在于，该承载部包括一U形结构，其具有两个相互平行的指状结构，该对第一光学感测器分别位于该两个指状结构上，且该对第一光学感测器的中心连线垂直于该指状结构的延伸方向。

4.如权利要求3所述的自动校正机械手臂，其特征在于，该第二光学感测器位于该承载部的邻近该基部的位置处。

5.如权利要求4所述的自动校正机械手臂，其特征在于，该第一及第二光学感测器呈等腰三角形分布。

6.如权利要求1所述的自动校正机械手臂，其特征在于，该光学感测器为外界自然光遮断式光学感测器或自然光反射式光学感测器。

7.如权利要求1所述的自动校正机械手臂，其特征在于，该多个位移感测器包括三个分别靠近于第一及第二光学感测器设置的位移感测器，该三个位移感测器位于至少两条直线上。

8.一种自动校正机械手臂，其包括一用来承载晶圆的承载臂，其特征在于，该自动校正机械手臂还包括设置在承载臂上的用以确定晶圆圆心的多个光学感测器和用以确定晶圆相对水平度的多个位移感测器，该多个光学感测器位于至少两条直线上，该多个位移感测器位于至少两条直线上。

9.如权利要求8所述的自动校正机械手臂，其特征在于，该多个光学感测器为三个位于至少两条直线上的光学感测器，该多个位移感测器为三个位于至少两条直线上的位移感测器。

10.如权利要求8所述的自动校正机械手臂，其特征在于，该多个位移感测器分别靠近于该多个光学感测器设置。