[发明专利]四次谐波紫外激光器

权利要求书

1.一种四次谐波紫外激光器，包括至少一非线性晶体、至少一镜片，非线性晶体和镜片上镀有膜层，其特征在于：包括移动装置，当激光器的激光光路通过非线性晶体或镜片时，对非线性晶体或镜片上一个位置的膜层破坏时，移动装置可移动非线性晶体或镜片，使非线性晶体或镜片变换位置对准激光光路。

2.如权利要求1所述的四次谐波紫外激光器，其特征在于：所述移动装置包括分别设于X轴和Y轴方向的滑台面、行程螺杆、联轴器和电机，滑台面的导向部分包括滑条和滑条安装板，非线性晶体或镜片分别安装在X轴方向或Y轴方向的滑台面上，行程螺杆安装在滑台面上，联轴器安装在行程螺杆的外部，电机安装在行程螺杆的顶部。

3.如权利要求2所述的四次谐波紫外激光器，其特征在于：所述移动装置还包括联接支架，分别与X轴方向和Y轴方向的滑台面安装连接。

4.如权利要求1或3所述的四次谐波紫外激光器，其特征在于：所述移动装置还包括一微动开关，微动开关通过微动开关支架安装于X轴安装板上。

5.如权利要求1所述的四次谐波紫外激光器，其特征在于：激光器包括深紫外激光出光模块和绿激光出光模块，所述移动装置包括在绿激光出光模块的出光口处架装一个导轨，并将深紫外模块的连接处加开导轨滑槽。

6.如权利要求5所述的四次谐波紫外激光器，其特征在于：所述导轨为十字位移导轨，同时在十字方向分别与电机相连。

7.如权利要求1所述的四次谐波紫外激光器，其特征在于：所述移动装置包括联轴器、蜗杆轴和蜗轮压套，非线性晶体或镜片安装在蜗轮压套中，蜗轮压套与蜗杆轴啮合，蜗杆轴通过联轴器安装在电机上。

8.如权利要求7所述的提高寿命的方法，其特征在于：所述蜗轮压套内还设有镜片压圈，压紧镜片于蜗轮压套内。

9.如权利要求2或6或8所述的四次谐波紫外激光器，其特征在于：所述电机为步进电机。