[发明专利]四次谐波紫外激光器

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种四次谐波紫外激光器。

【技术背景】

在当前国际的环境下，激光器在加工领域的应用越来越广泛。特别在激光精细加工方面，对比于机械加工设备，激光加工过程中的无耗材，无震动，无需冷却液，可加工任意形状等优点，使得在精细加工方面激光加工设备正在一步一步的取代传统的机械加工设备。而短波长高功率四次谐波紫外激光由于具有高分辨率和高吸收，冷加工等特点，相对于红外激光在精细加工方面更有优势。但作为国内的一项新型激光器，四次谐波紫外激光器在使用寿命方面相对其它类型的激光器存在一定的不足。究其主要原因是深紫外波长的光对膜层有着极大的破坏性。对于这个问题之前采用过减小使用电流、降低光束质量等解决方案，但一直没有得出令人满意的结果。减小使用电流会限制其应用范围，降低光束质量会影响产品使用效果。

美国Lightwave Electronics公司美国专利第US 6697391 B2号，采用不镀膜的布卢斯特四次谐波非线性晶体，把四次谐波激光导出腔外，由于不镀膜，不存在四次谐波紫外激光对膜层的破坏问题，布卢斯特角使竖直偏振的四次谐波紫外激光无损耗导出腔外，但对水平偏振的基频光产生很大的反射，使得基频谐振腔内损耗增大功率下降，导致谐波功率同时下降。而且腔内插入布卢斯特角端面晶体会增加调光难度，为生产带来不便。

到目前为止，国内四次谐波紫外激光尚处于基础研究阶段，没有关于四次谐波紫外激光器寿命的报道，也没有关于提高四次谐波紫外激光器使用寿命方法的报道。

【发明内容】

本发明所欲解决的技术问题是提供一种使用寿命能提高的四次谐波紫外激光器。

本发明所采用的技术方案是：一种四次谐波紫外激光器，包括至少一非线性晶体、至少一镜片，非线性晶体和镜片上镀有膜层，包括移动装置，当激光器的激光光路通过非线性晶体或镜片时，对非线性晶体或镜片上一个位置的膜层破坏时，移动装置可移动非线性晶体或镜片，使非线性晶体或镜片变换位置对准激光光路。

所述移动装置包括分别设于X轴和Y轴方向的滑台面、行程螺杆、联轴器和电机，滑台面的导向部分包括滑条和滑条安装板，非线性晶体或镜片分别安装在X轴方向或Y轴方向的滑台面上，行程螺杆安装在滑台面上，联轴器安装在行程螺杆的外部，电机安装在行程螺杆的顶部。

所述移动装置还包括联接支架，分别与X轴方向和Y轴方向的滑台面安装连接。

所述移动装置还包括一微动开关，微动开关通过微动开关支架安装于X轴安装板上。

激光器包括深紫外激光出光模块和绿激光出光模块，所述移动装置包括在绿激光出光模块的出光口处架装一个导轨，并将深紫外模块的连接处加开导轨滑槽。

所述导轨为十字位移导轨，同时在十字方向分别与电机相连。

所述移动装置包括联轴器、蜗杆轴和蜗轮压套，非线性晶体或镜片安装在蜗轮压套中，蜗轮压套与蜗杆轴啮合，蜗杆轴通过联轴器安装在电机上。

所述蜗轮压套内还设有镜片压圈，压紧镜片于蜗轮压套内。

所述电机为步进电机。

本发明所达到的技术效果是：本发明四次谐波激光使其经过的光学器件表面的膜层开始降解时，移动装置移动相应的光学器件，使四次谐波激光通过光学器件的其余膜层的未降解处，从而使四次谐波紫外激光器的使用寿命提高。

【附图说明】

下面参照附图结合实施例对本发明作进一步的描述。

图1是本发明第一实施例各自独立直线位移结构的立体图。

图2是本发明第一实施例各自独立直线位移结构的立体分解图。

图3是本发明第二实施例整体模块直线移动结构的结构示意图。

图4是本发明第二实施例整体模块直线移动结构的工作原理图。

图5是本发明第三实施例各自独立旋转位移结构的立体示意图。

【具体实施方式】

本发明四次谐波固体激光器包括一个或多个非线性晶体，多个角度反射镜及平面反射镜等镜片，所述非线生晶体和镜片上都镀有膜层。激光器在产生四次谐波激光的过程中，四次谐波激光经过所述镀有膜层的非线性晶体和镜片表面时，深紫外波长的光会对膜层有极大的破坏作用，膜层开始慢慢降解，直至最后破坏，从而降低了激光器的使用寿命。