[发明专利]开盖装置有效
申请号: | 200610164849.8 | 申请日: | 2006-12-06 |
公开(公告)号: | CN101197250A | 公开(公告)日: | 2008-06-11 |
发明(设计)人: | 韦磊 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵镇勇;郭宗胜 |
地址: | 100016北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 | ||
1.一种开盖装置,用于开启或关闭设备的盖板,其特征在于,包括驱动装置、减速装置和执行机构;
所述的执行机构包括连杆和扇形齿轮,扇形齿轮与设备的机架铰接,连杆的一端与设备的机架铰接,另一端与盖板固定连接;
所述的减速装置包括蜗杆、蜗轮,所述蜗轮与扇形齿轮啮合;
所述驱动装置与蜗杆连接,可通过减速装置驱动执行机构的扇形齿轮带动连杆一同转动,开启或关闭设备的盖板。
2.根据权利要求1所述的开盖装置,其特征在于,所述的减速装置还包括齿轮组,所述蜗轮通过齿轮组与扇形齿轮啮合。
3.根据权利要求2所述的开盖装置,其特征在于,所述的齿轮组为多级齿轮传动。
4.根据权利要求3所述的开盖装置,其特征在于,所述的齿轮组为二级齿轮传动,包括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮,
所述第一齿轮与蜗轮固定连接,并与第二齿轮啮合,组成一级齿轮传动;
所述第三齿轮与第二齿轮固定连接,并与所述扇形齿轮啮合,组成另一级齿轮传动。
5.根据权利要求1所述的开盖装置,其特征在于,所述的驱动装置包括电机,所述电机的输出轴与蜗杆连接。
6.根据权利要求5所述的开盖装置,其特征在于,所述的电机为调速电机。
7.根据权利要求5或6所述的开盖装置,其特征在于,所述的驱动装置还包括变速器,所述电机的输出轴通过变速器与蜗杆连接。
8.根据权利要求1所述的开盖装置,其特征在于,所述的驱动装置包括曲柄,曲柄与蜗杆连接,通过旋转曲柄可驱动蜗杆转动。
9.根据权利要求8所述的开盖装置,其特征在于,所述的曲柄包括转盘与把手,所述转盘的中心部位与蜗杆连接,所述转盘的边缘部位连接有把手。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造