[发明专利]开盖装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种设备的附属装置，尤其涉及一种半导体加工设备的开盖装置。

背景技术

半导体设备中某些部件在维护中必须打开，比如平台腔室的腔室盖，在需要对腔室内部进行真空机械手更换及调试或者清理腔室内部时，腔室盖就需要打开。由于腔室盖的重量较大，靠人力难以完成，因此必须借助机械工具才能完成开盖。

现有技术中，打开腔室盖的方法主要有两种：

一种是如图1所示的气缸式开盖机构，连杆3一端与气缸1连接，一端与盖板2连接，连杆3在气缸1作用下带动盖板2上升，实现开盖。由于该机构开或合盖时，盖板2垂直运动，力矩大，有挠度影响，致使合盖时盖板2的各部分不能同时接触腔室4，多次合盖将导致盖板2或腔室4受损；另外，当需要装配真空机械手时，盖需要开得非常高，致使气缸臂导轨必须非常长，占用较大的空间，容易对设备的其它部件如管线的布置造成影响，外形美观上影响较大。

另一种是如图2所示的气弹簧式开盖机构，气弹簧臂5一端与支撑柱6连接，一端与盖板2连接，盖板2通过转轴7与腔室铰接。当需要维护腔室时，借助人力，在气弹簧臂5的辅助下，绕转轴7旋转开盖板2。该机构使用范围窄，只适用于盖板2重量较小时的应用，另外，由于需要借助人力，速度不好控制，不能实现自动化，效率低，安全性不强。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定的开盖装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，包括驱动装置、减速装置和执行机构；

所述的执行机构包括连杆和扇形齿轮，扇形齿轮与设备的机架铰接，连杆的一端与设备的机架铰接，另一端与盖板固定连接；

所述的减速装置包括蜗杆、蜗轮，所述蜗轮与扇形齿轮啮合；

所述驱动装置与蜗杆连接，可通过减速装置驱动执行机构的扇形齿轮带动连杆一同转动，开启或关闭设备的盖板。

所述的减速装置还包括齿轮组，所述蜗轮通过齿轮组与扇形齿轮啮合。

所述的齿轮组为多级齿轮传动。

所述的齿轮组为二级齿轮传动，包括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮，

所述第一齿轮与蜗轮固定连接，并与第二齿轮啮合，组成一级齿轮传动；

所述第三齿轮与第二齿轮固定连接，并与所述扇形齿轮啮合，组成另一级齿轮传动。

所述的驱动装置包括电机，所述电机的输出轴与蜗杆连接。

所述的电机为调速电机。

所述的驱动装置还包括变速器，所述电机的输出轴通过变速器与蜗杆连接。

所述的驱动装置包括曲柄，曲柄与蜗杆连接，通过旋转曲柄可驱动蜗杆转动。

所述的曲柄包括转盘与把手，所述转盘的中心部位与蜗杆连接，所述转盘的边缘部位连接有把手。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的开盖装置，由于包括驱动装置、减速装置和执行机构。减速装置包括蜗杆、蜗轮，可通过驱动装置调整和控制开盖速度，通过蜗杆、蜗轮实现大速比减速，并避免反向传递运动。

结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定。尤其适用于开启或关闭半导体加工设备的平台腔室盖板，也可以适用于开启或关闭其它设备的盖板。

附图说明

图1为现有技术中气缸式开盖机构的结构示意图；

图2为现有技术中气弹簧式开盖机构的结构示意图；

图3为图2的俯视图；

图4为本发明开盖装置具体实施例一的结构示意图一；

图5为本发明开盖装置具体实施例一的结构示意图二；

图6为本发明开盖装置具体实施例二的结构示意图。

具体实施方式

本发明的开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，这里所述的设备主要指半导体加工设备的平台腔室，也可以是其它的设备。

其较佳的具体实施例一，如图4、图5所示，包括驱动装置、减速装置和执行机构。

所述的执行机构通过铰轴17与设备的机架铰接，并与盖板2固定连接，铰轴17可以固定在腔室上，也可以固定在半导体加工设备的机架上，执行机构绕铰轴17转动可将盖板2开启或关闭。

所述驱动装置通过减速装置与执行机构啮合，可驱动执行机构绕铰轴17转动，将盖板2打开。通过驱动装置可调整和控制开盖速度。

所述的减速装置包括蜗轮12、蜗杆11，所述的执行机构包括扇形齿轮16，所述扇形齿轮16通过铰轴17与设备的机架铰接，连杆3的一端通过铰轴17与设备的机架铰接，另一端与盖板2固定连接。