[发明专利]等离子去胶台可调式载片体无效
| 申请号： | 200610165109.6 | 申请日： | 2006-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101201558A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王俊;白一鸣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/36;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 去胶台可 调式 载片体 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子去胶台可调式载片体，用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片，其特征在于，包括：
一承载体，该承载体为一矩形，该承载体的上面中间两侧分别有一螺孔；
两探针架，该两探针架类似于套管天线的结构，其长度可以伸缩调节，该两探针架的一端分别用螺丝固定在承载体上面的螺孔上；
两探针，该探针为细丝状，该两探针的一端分别固定在两探针架的另一端。
2.根据权利要求1所述的等离子去胶台可调式载片体，其特征在于，其中所述的探针架包括：多节可以伸缩调节的杆体，该杆体的一端为金属片，该金属片上有一螺丝孔。
3.根据权利要求3所述的等离子去胶台可调式载片体，其特征在于，其中所述的多节可以伸缩调节的杆体的节数为两至五节。
4.根据权利要求1所述的等离子去胶台可调式载片体，其特征在于，其中所述的承载体为绝热耐温的聚四氟乙烯材料。
5.根据权利要求1所述的等离子去胶台可调式载片体，其特征在于，其中所述的两探针架为金属材料。
6.根据权利要求1所述的等离子去胶台可调式载片体，其特征在于，其中所述的两探针为金属材料。
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