[发明专利]等离子去胶台可调式载片体

说明书

技术领域

本发明属于机械领域，用于半导体外延片的去胶或清洗，特别是指一种用于等离子去胶台可调式载片体。

背景技术

半导体工业，作为21世纪信息社会的高新技术产业的重要支柱，对世界经济产生着强有力的驱动作用。近些年，随着半导体技术的飞速发展，各种半导体工艺设备的研制和开发也应运而生。比较有代表性的产品有等离子去胶台、光刻机、快速合金炉(4英寸和6英寸)、探针台、扩散炉和退火炉、清洗机以及正在开发的芯片倒装焊机等。等离子去胶台设备具有去胶工艺简单、可靠、彻底、速率快、成品率高、无酸气废水、且电磁兼容性能优良、高频辐射小等特点而在半导体工艺线上发挥着重要的作用。

现在等离子去胶台普遍使用的载片体是一长方体石英平板，其上无任何固定装置。这种载片体的特点是：片子的取放比较方便，比较适合面积较小的衬底。但这种载片体也存在很大的欠缺，即片子在被去胶的过程中，由于震动或反应室的气流等原因常常使片子位置发生变化，甚至掉落，使片子碎裂，尤其是对于面积较大的片子，从而在人力、物力和财力上造成很大的损失。本发明提供一种等离子去胶台可调式载片体，该载片体可以根据片子的不同形状、大小做出相应的调整，再进行固定，从而避免由于震动或其他原因引起的片子碎裂，且装卸灵活，制作简便。

发明内容

本发明的主要目的在于：提供一种等离子去胶台可调式载片体，该载片体可以根据片子的不同形状大小而做出相应的调整，再进行固定，且装卸灵活，制作简便。

本发明的目的是由以下的技术方案实现的：

本发明一种等离子去胶台可调式载片体，用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片，其特征在于，包括：

一承载体，该承载体为一矩形，该承载体的上面中间两侧分别有一螺孔；

两探针架，该两探针架类似于套管天线的结构，其长度可以伸缩调节，该两探针架的一端分别用螺丝固定在承载体上面的螺孔上；

两探针，该探针为细丝状，该两探针的一端分别固定在两探针架的另一端。

其中所述的探针架包括：多节可以伸缩调节的杆体，该杆体的一端为金属片，该金属片上有一螺丝孔。

其中所述的多节可以伸缩调节的杆体的节数为两至五节。

其中所述的承载体为绝热耐温的聚四氟乙烯材料。

其中所述的两探针架为金属材料。

其中所述的两探针为金属材料。

本发明的有益效果是：

1、该等离子去胶台可调式载片体可以固定待清洗或去胶的外延片，从而避免由于震动等原因引起的片子碎裂。

2、该等离子去胶台可调式载片体可以根据外延片的形状大小而做出相应的调整，尤其对于面积较大的外延片，且装卸方便灵活。

3、该等离子去胶台可调式载片体制作方法简单，成本低廉。

附图说明

为了进一步说明本发明的结构和特征，以下结合实施例及附图对本发明作进一步的说明，其中：

图1是本发明可调式载片体的立体分解图。

图2是该可调式载片体在工作状态下的立体图。

具体实施方式

请参阅图1所示，本发明一种等离子去胶台可调式载片体，用于等离子去胶台中承载并固定待清洗或去胶的外延片，包括：

一承载体10，该承载体10为一矩形，该承载体10的上面中间两侧分别有一螺孔11，所述的承载体10为绝热耐温的聚四氟乙烯材料；

两探针架20，该两探针架20类似于套管天线的结构，其长度可以伸缩调节，该两探针架20的一端分别用螺丝固定在承载体10上面的螺孔11上，所述的探针架20包括：多节可以伸缩调节的杆体21，该杆体21的一端为金属片22，其中所述的多节可以伸缩调节的杆体21的节数为两至五节，该金属片22上有一螺丝孔23，所述的两探针架20为金属材料；

两探针30，该探针30为细丝状，该两探针30的一端分别固定在两探针架20的另一端，所述的两探针30为金属材料。

请参阅图2所示，本发明等离子去胶台可调式载片体的工作过程为：