[发明专利]一种阳极氧化零件表面的清洗方法

权利要求书

1.一种阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

A、用有机溶剂清洗零件表面；

B、用碱性溶液清洗零件表面；

C、用酸性溶液清洗零件表面；

D、用氟化酮或氟化酮与有机溶剂的混合溶液清洗零件表面；

E、用超声波清洗零件。

2.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步骤A前还包括：

用超纯水清洗零件表面；具体用超纯水喷淋零件表面不少于设定的喷淋时间，用洁净的高压气体吹干零件的表面。

3.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步骤A包括：

A1、用有机溶剂擦拭零件，直至无带色的杂质脱落；和/或，

A2、用有机溶剂喷淋零件设定的喷淋时间，并可重复多次，且每次的喷淋时间与所用有机溶剂的可相同或不同；和/或，

A3、用有机溶剂浸泡零件设定的浸泡时间，并可重复多次，且每次的浸泡时间与所用有机溶剂的可相同或不同；

和/或，

A4、在擦拭、喷淋和/或浸泡零件清洗后还包括用超纯水冲洗零件表面，并用洁净的高压气体吹干零件的表面。

4.根据权利要求1或3所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的有机溶剂为：

含量为100％的异丙醇；或者，

含量为100％的乙醇；或者，

含量为100％的丙酮；

所述的异丙醇、乙醇与丙酮不低于SEMI标准的一级标准。

5.根据权利要求1或2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步骤B包括：

B1、用碱性溶液浸泡零件不少于设定的清洗时间；

B2、用洁净的擦拭物擦拭零件再用超纯水冲洗零件表面，并用洁净的高压气体吹干零件的表面。

6.根据权利要求5所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于：

所述的碱性溶液包括：氢氧化铵NH₄OH、双氧水H₂O₂与水H₂O，其各组份的质量含量比为：

NH₄OH∶H₂O₂∶H₂O，比例为1∶1∶1～20。

7.根据权利要求1或2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步骤C包括：

C1、用酸性溶液擦拭零件，不超过设定的擦拭时间；

C2、用超纯水冲洗零件表面，并用洁净的高压气体吹干零件的表面。

8.根据权利要求7所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于：

所述的酸性溶液包括硝酸HNO₃、氢氟酸HF、过硫酸铵(NH₄)₂SO₄与水H₂O，其各组份的质量含量比为：

HNO₃∶HF∶(NH₄)₂SO₄∶H₂O为1∶1∶1∶10～50。

9.根据权利要求1或2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步骤D包括：

用质量含量为1％-20％的氟化酮与有机溶剂的混合溶液浸泡零件表面，再用超纯水冲洗零件表面，并用洁净的高压气体吹干零件的表面。

10.根据权利要求1或2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步骤E包括：

E1、将零件放入超纯水的超声槽中以10-26KHz频率进行清洗20-40分钟，超纯水水温为40-70℃，超声能量密度小于30瓦/加仑；和/或，

E2、将零件放入去离子水的超声槽中以较30-45KHz频率进行清洗20-30分钟，去离子水水温为40-70℃，超声能量密度小于30瓦/加仑。