[发明专利]光学检测装置

权利要求书

1.一种光学检测装置，包括：

多个光学感测器，用以感测基板；

多个取像单元，分别用以驱动该光学感测器，以采集多个图像信息；

多个检测单元，分别用以检测该图像信息，并输出多个检测信息；

多个子控制单元，分别用以控制该取像单元及该检测单元；

整合单元，用以整合该检测信息，并输出检测结果；以及

主控制单元，用以控制该子控制单元。

2.如权利要求1所述的光学检测装置，其中该取像单元分别设置于多个图像处理卡内，该检测单元分别设置于该图像处理卡内。

3.如权利要求1所述的光学检测装置，其中该子控制单元、该主控制单元及该整合单元设置于第一计算机内。

4.如权利要求1所述的光学检测装置，更包括：

人机界面，用以呈现该检测结果，该人机界面设置于第二计算机内。

5.如权利要求1所述的光学检测装置，更包括：

固定座；以及

移动框架，用以承载该基板，并带动该基板相对该固定座沿第一轴向移动。

6.如权利要求5所述的光学检测装置，更包括：

至少线性马达，直立式耦接于该移动框架及该固定座之间。

7.如权利要求6所述的光学检测装置，其中该线性马达包括：

固定元件，耦接于该固定座，该固定元件具有凹槽，该凹槽的开口朝下；以及

移动元件，耦接于该移动框架，并可相对该固定元件移动。

8.如权利要求6所述的光学检测装置，其中该光学检测装置包括两组线性马达，分别直立式耦接于该移动框架及该固定座的相对的两侧边。

9.如权利要求5所述的光学检测装置，更包括：

二支架，耦接于该固定座；以及

第一光源，该第一光源的两端分别耦接于该支架，并沿第二轴向设置于该移动框架的上方，该第二轴向实质上垂直于该第一轴向，该第一光源沿该第二轴向的长度实质上接近于该移动框架沿该第二轴向的宽度。

10.如权利要求9所述的光学检测装置，其中该第一光源为线型光源。

11.如权利要求9所述的光学检测装置，其中该第一光源可以该第二轴向为轴心转动，或沿该第一轴向或第三轴向移动，该第三轴向实质上垂直于该第一轴向及该第二轴向。

12.如权利要求11所述的光学检测装置，其中该支架分别具有耦接孔，该第一光源的两端分别插入该耦接孔，以使该第一光源可以该第二轴向为轴心转动。

13.如权利要求11所述的光学检测装置，其中该支架分别具有第一轴向滑槽，该第一轴向滑槽实质上平行于该第一轴向，该固定座耦接于该第一轴向滑槽，以使该第一光源可沿该第一轴向移动。

14.如权利要求11所述的光学检测装置，其中该固定座具有二第三轴向滑槽，该第三轴向滑槽实质上平行该第三轴向，该支架分别耦接于该第三轴向滑槽，以使该第一光源可沿该第三轴向移动。

15.如权利要求9所述的光学检测装置，更包括：

第一灯箱，用以提供该第一光源的第一光线；以及

第一滤光片滚轮，设置于该第一灯箱内，用以更换多个第一滤光片，以变换该第一光线的波长。

16.如权利要求5所述的光学检测装置，更包括：

第二光源，设置于该移动框架的下方。

17.如权利要求16所述的光学检测装置，更包括：

第二灯箱，用以提供该第二光源的第二光线；以及

第二滤光片滚轮，设置于该第二灯箱内，用以更换多个第二滤光片，以变换该第二光线的波长。

18.如权利要求16所述的光学检测装置，其中该第二光源为线型光源。

19.如权利要求5所述的光学检测装置，其中该光学感测器耦接于该固定座，并沿该第二轴向排列于该移动框架的上方。

20.如权利要求19所述的光学检测装置，其中各该光学感测器可以第四轴向、第五轴向或第六轴向为轴心转动，或沿该第六轴向移动，该第四轴向、该第五轴向及该第六轴向实质上相互垂直。