[发明专利]光学检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光学检测装置，且特别涉及一种大尺寸基板的光学检测装置。

背景技术

随着平面显示科技的发展，平面显示面板越来越广泛地应用于各式电子产品中。以液晶显示面板为例，为了获得规模生产的利润，在产品量产的过程中，会先制作大尺寸基板，待大尺寸基板完成后，再切割成多个小尺寸基板。此种方式的制造成本相较直接制作多个小尺寸基板，可节省相当多的制造成本。

举例来说，液晶显示面板的制造厂房可分为1代厂、2代厂、3代厂、5代厂，甚至是6代厂、7代厂。其中，6代厂的大尺寸基板达到了150X185公分，相当于一张双人床大小。一片6代厂的大尺寸基板，可切割出12片26英寸的小尺寸基板。相较于5代厂的大尺寸基板仅可切割为6片26英寸的小尺寸基板，6代厂的产能呈倍数成长。也就是说，厂房的级数越高，产能越是呈倍数放大。

然而，基板尺寸越大，价格越是昂贵。在液晶显示面板的制造过程中，当瑕疵或是异物出现在基板上时，若是未立即发现并进行改善程序，则将在后续工艺中形成不良品。一般而言，基板的不良品无法返工修复，必须以报废处理。即使基板不良品可以返工，其返工成本亦相当的庞大。因此，在液晶显示面板的制造过程中，必须通过多道的检测工艺，以避免基板上产生任何的瑕疵，而产生不良品。

其中液晶显示面板包括薄膜电晶体基板、彩色滤光片基板及素面玻璃基板等大尺寸基板。除了液晶显示面板以外，等离子体显示面板或是有机发光二极管面板亦朝向大尺寸发展，且均面临同样的问题。因此，检测工艺俨然已成为各式大尺寸基板的相当重要的制造程序。

请参照图1，其示出一种传统的光学检测装置900的方块图。传统的光学检测装置900包括主控计算机(Master Computer)991、数台从动计算机(Slave Computer)992及数台光学感测器920。光学感测器920用以感测基板，并输出图像信息。从动计算机992对应于数台光学感测器920，主控计算机991对应于数台从动计算机992。

由于大尺寸基板的面积广阔，即使使用高解析度的光学感测器920，也必须一次排列数台光学感测器920才可能在短时间内完成检测。对于连接光学感测器920的从动计算机992而言，若一次要控制多台光学感测器920，并处理多笔图像信息，负担是相当的大。以图1为例，光学检测装置900采用多台从动计算机992来分担各台从动计算机992的系统负荷。

然而，从动计算机992具有一定的体积。多台从动计算机992所占用的厂房空间相当地庞大，使用上相当地不方便。

并且，当基板尺寸增加时，光学感测器920的数量也必须增加。同时，从动计算机992的数量也必须增加，更是大幅增加了占用的空间。

此外，光学感测器920采集数笔图像资料后，更必须进一步进行储存、检测及整合等程序。传统的光学检测装置900以从动计算机992的中央处理器(Center Process Unit，CPU)进行上述的多种程序。不论是哪一种程序均必须占用许多的记忆体及中央处理器的资源。且从动计算机992的中央处理器在进行上述多种程序时，没有任何准则，造成光学检测装置900效益不佳。再者，从动计算机992的中央处理器亦无法同步进行多种程序，必须以排序的方式进行处理。因此，光学检测装置900的处理速度相当地慢，而无法配合生产线的工艺速度。

发明内容

本发明有关于一种光学检测装置，其利用多工处理的架构、线性马达、第一光源、第二光源以及光学感测器的设计，使得光学检测装置除了具有效率提高及系统负荷降低的优点外，更至少具有稳定度高、空间利用最佳化及检测精准度提升等优点。

根据本发明的一方面，提出一种光学检测装置包括多个光学检测器、多个取像单元、多个检测单元、多个子控制单元、整合单元及主控制单元。这些光学感测器用以感测基板。这些取像单元分别用以驱动这些光学感测器，以采集多个图像信息。这些检测单元分别用以检测这些图像信息，并输出多个检测信息。这些子控制单元分别用以控制这些取像单元及这些检测单元。整合单元用以整合这些检测信息，并输出检测结果。主控制单元用以控制这些子控制单元。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

图1示出一种传统的光学检测装置的方块图；

图2A示出依照本发明优选实施例的光学检测装置的信号流程图；

图2B示出图3A的光学检测装置的控制架构图；