[实用新型]一种涡轮分子泵的泄压装置

权利要求书

1.一种涡轮分子泵的泄压装置，由一个卡套式封口总成和两个联接法兰构成，卡套式封口总成通过两个联接法兰分别与涡轮分子泵排气口和前级泵联接固定，其特征在于，卡套式封口总成由泄压装置主体(3)、密封圈(4)、螺帽(6)和柱塞(8)组合而成；柱塞(8)侧剖面呈T字形，T字形头部伸出泄压装置主体(3)出口端外，柱塞(8)其余部分紧贴于泄压装置主体(3)内；密封圈(4)位于泄压装置主体(3)凹槽内，并且紧贴柱塞(8)；螺帽(6)套在泄压装置主体(3)外侧，通过压紧密封圈(4)压紧柱塞(8)，使柱塞(8)在涡轮分子泵正常运转时静止于泄压装置主体(3)内。

2.如权利要求1所述的泄压装置，其特征在于，两个联接法兰都是KF40卡箍型快卸联接法兰。

3.如权利要求1所述的泄压装置，其特征在于，卡套式封口总成包括卡环(5)，卡环(5)位于泄压装置主体(3)凹槽内，紧贴柱塞(8)并且平行于密封圈(4)，由螺帽(6)固定；螺帽(6)通过卡环(5)压紧密封圈(4)以压紧柱塞(8)。

4.如权利要求1所述的泄压装置，其特征在于，柱塞(8)是低真空测量规。

5.如权利要求1、3或4所述的泄压装置，其特征在于，柱塞(8)或者低真空测量规与泄压装置主体(3)通过弹性介质相连。

6.如权利要求5所述的泄压装置，其特征在于，所述的弹性介质是绳子、橡胶条或者金属丝。

7.如权利要求5所述的泄压装置，其特征在于，金属环(7)固定于柱塞(8)或者低真空测量规，并且与弹性介质相连。