[实用新型]一种涡轮分子泵的泄压装置

说明书

技术领域

本实用新型属于抽真空设备保护技术领域，具体涉及一种机械式真空泵-----涡轮分子泵的泄压装置。

背景技术

涡轮分子泵广泛应用于加速器技术、表面分析、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术的各个领域。涡轮分子泵是通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止涡轮叶片的组合进行抽气的，排出的气体立刻被前级泵抽走，在分子流区域内被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要高真空或超高真空环境。如果此时被抽真空管道突然发生大气泄露故障，大气的冲击将会损坏高速旋转的多级涡轮转子叶片。其实大气冲击不是真正损坏多级涡轮转子叶片的主要原因，主要原因是被抽管道大气泄露时，涡轮分子泵排出的气体会猛增，这些突然猛增的气体因为前级泵来不及排放，而在涡轮分子泵和前级泵联接的管道内立刻产生高气压，高速旋转中的多级涡轮转子叶片承受不住这个高气压而会变形，最后多级涡轮转子叶片和静止涡轮叶片绞在一起，这台涡轮分子泵损坏过程也就是在突然增多气体排不出的一瞬间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够在瞬间泄压的装置。

本实用新型提供了一种涡轮分子泵的泄压装置，由一个卡套式封口总成和两个联接法兰构成，卡套式封口总成通过两个联接法兰分别与涡轮分子泵排气口和前级泵联接固定。卡套式封口总成由泄压装置主体3、密封圈4、螺帽6和柱塞8组合而成；柱塞8侧剖面呈T字形，T字形头部伸出泄压装置主体3出口端外，柱塞8其余部分紧贴于泄压装置主体3内；密封圈4位于泄压装置主体3凹槽内，并且紧贴柱塞8；螺帽6套在泄压装置主体3外侧，通过压紧密封圈4压紧柱塞8，使柱塞8在涡轮分子泵正常运转时静止于泄压装置主体3内。该泄压装置在涡轮分子泵正常运转时密闭。

本实用新型中，联接法兰可以是KF40卡箍型快卸联接法兰。

本实用新型中，卡套式封口总成包括卡环5，卡环5位于泄压装置主体3凹槽内，紧贴柱塞8并且平行于密封圈4，由螺帽6固定。

本实用新型中，密封圈4的作用是压紧柱塞8，使柱塞8在涡轮分子泵正常运转时静止于泄压装置主体3内；同时密封圈4起到密闭作用，使涡轮分子泵正常运转时泄压装置主体3内形成密闭空间。密封圈4被压紧的程度是，用1.5～2公斤的拉力可以拉动柱塞8，这个压紧程度对柱塞8产生的阻尼，不会影响涡轮分子泵和前级泵的工作运转，而运转中一旦碰到管道突然大气泄露，此时涡轮分子泵排出的气体因猛增而将柱塞8喷射出去。密封圈4可以采用O形橡胶密封圈。本实用新型中，对密封圈4的压紧程度和装柱塞8的要求一样，以保证泄压装置的瞬间泄压作用。

本实用新型中，卡环5的作用是通过拧紧螺帽6压紧密封圈4，从而压紧柱塞8，使泄压装置主体3内部与外界空间隔开，泄压装置主体3内可以被前级泵抽到1*10^-2帕的真空状态。

本实用新型中，螺帽6的作用是通过压紧密封圈4压紧柱塞8，使柱塞8在涡轮分子泵正常运转时静止于泄压装置主体3内。同时，固定卡环5和密封圈4，以免其在突然泄压时被喷射出泄压装置主体3而遗失或者射伤工作人员。

本实用新型中，柱塞8的作用是通过压紧密封圈4，起到密闭作用，使泄压装置主体3内部空间与外界隔开，当分子泵与前级泵联接管内的压强超过0.2兆帕时，柱塞8将会与泄压装置主体3立刻分开。

本实用新型中，可由低真空测量规替代柱塞8。例如，ZJ----54D型号的低真空测量规。这时，可以通过低真空测量规的指示了解涡轮分子泵启动前的真空情况。被抽管道突然大气泄露时，低真空测量规会被立刻喷射出泄压装置主体3发挥泄压作用。

本实用新型中，柱塞8或者低真空测量规与泄压装置主体3通过弹性介质相连。所述的弹性介质可以是绳子、橡胶条或者金属丝等。弹性介质的长度最短不少于20厘米，最长不超过50厘米，其作用是拴住柱塞8或者低真空测量规，以免突然泄压时射伤工作人员及摔坏柱塞8或者低真空测量规。

本实用新型中，可以有环7固定于柱塞8或者低真空测量规，并且与弹性介质相连。环7可以采用木质、金属、高分子等多种材料，其作用是与弹性介质和柱塞8(或者低真空测量规)相连，在突然泄压时拴住柱塞8或者低真空测量规，以免射伤工作人员及摔坏柱塞8或者低真空测量规。

本实用新型的泄压装置的各零件尺寸可以根据涡轮分子泵排气口和前级泵管道尺寸及实际需要而定。