[实用新型]去胶机无效
申请号: | 200620049450.0 | 申请日: | 2006-12-25 |
公开(公告)号: | CN201004156Y | 公开(公告)日: | 2008-01-09 |
发明(设计)人: | 林忠宝 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42;G03F7/26;H01L21/027 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 去胶机 | ||
1.一种去胶机,具有加热部件和起模顶杆,所述加热部件具有加热板以及至少一个贯穿加热板的孔,起模顶杆在孔中贯穿移动,其特征在于,所述孔在加热板工作面一侧的孔径大于在加热板非工作面的孔径。
2.根据权利要求1所述的去胶机,其特征在于,所述孔在加热板工作面一侧具有倒角。
3.根据权利要求2所述的去胶机,其特征在于,孔在加热板的工作面的倒角为25°至65°。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的去胶机,其特征在于,孔在加热板工作面一侧的孔径为起模顶杆直径的2~5倍。
5.根据权利要求4所述的去胶机,其特征在于,孔在加热板工作面一侧的孔径为起模顶杆直径的3~4倍。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的去胶机,其特征在于,所述孔的横截面为圆形。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的去胶机,其特征在于,所述加热板为金属铝或者金属铁或者陶瓷。
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