[实用新型]去胶机无效

专利信息
申请号: 200620049450.0 申请日: 2006-12-25
公开(公告)号: CN201004156Y 公开(公告)日: 2008-01-09
发明(设计)人: 林忠宝 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42;G03F7/26;H01L21/027
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 逯长明
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 去胶机
【权利要求书】:

1.一种去胶机,具有加热部件和起模顶杆,所述加热部件具有加热板以及至少一个贯穿加热板的孔,起模顶杆在孔中贯穿移动,其特征在于,所述孔在加热板工作面一侧的孔径大于在加热板非工作面的孔径。

2.根据权利要求1所述的去胶机,其特征在于,所述孔在加热板工作面一侧具有倒角。

3.根据权利要求2所述的去胶机,其特征在于,孔在加热板的工作面的倒角为25°至65°。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的去胶机,其特征在于,孔在加热板工作面一侧的孔径为起模顶杆直径的2~5倍。

5.根据权利要求4所述的去胶机,其特征在于,孔在加热板工作面一侧的孔径为起模顶杆直径的3~4倍。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的去胶机,其特征在于,所述孔的横截面为圆形。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的去胶机,其特征在于,所述加热板为金属铝或者金属铁或者陶瓷。

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