[实用新型]一种反应腔内壁清扫装置无效
| 申请号： | 200620049606.5 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN200984581Y | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 赵春波 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/20 | 分类号： | B08B9/20;B08B9/36;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 反应 内壁 清扫 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该装置包括一设置在该反应腔内用以清扫反应腔内壁的清扫单元、一驱动该清扫单元清扫反应腔内壁的驱动单元以及一设置在该反应腔底端且与反应腔连通的收集单元。
2、如权利要求1所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该驱动单元包括分别设置在反应腔两端外侧的两电动机以及一控制该两电动机运作的控制单元。
3、如权利要求2所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该清扫单元包括一直径与反应腔直径相匹配的清扫部、分别设置在清扫部两面上的两连接部以及其一端分别连接在两连接部上的两连接件，其中，该两连接件的另一端分别缠绕连接在两电动机的输出轴上。
4、如权利要求3所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该连接部呈圆锥状，该连接件恰连接在锥顶。
5、如权利要求3所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该连接件为链条。
6、如权利要求3所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该清扫部为一钢环。
7、如权利要求3所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该清扫部与反应腔内壁相接触的面上设置有钢刷。
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