[实用新型]一种反应腔内壁清扫装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种用以清扫反应腔内壁的清扫装置。

背景技术

在半导体制造领域，扩散、化学或物理气相沉积、刻蚀等诸多工序均需使用像硅烷(SiH₄)等特殊气体，且在工序的尾气中仍残留这些特殊气体，该些特殊气体通常为有毒有害气体，若不加处理直接排放到空气中，会污染环境并威胁人们的健康。故该些尾气均需进行处理后才能进行排放，以尾气中含有硅烷为例，需将该尾气引入一长约5米，直径至少为10cm的反应腔内，且加入一定比例的新鲜空气，于是尾气中含有的硅烷就会与空气中的氧气发生反应，生成无污染的粉状二氧化硅(SiO₂)和水(H₂O)，当尾气经过5米的反应腔从出气口排出时，尾气中的硅烷已经基本反应殆尽，于是即可将该尾气排放到空气中了。

但是，上述反应过程中生成的粉状二氧化硅会附着在反应腔的内壁上，当使用一段时间后，就需要将该反应腔拆开以将附着在内壁上的二氧化硅清除。此种反应腔内壁清扫方式存在着诸多缺点：首先，整个过程需持续较长时间，极大地影响了尾气的处理；再者，整个过程中需要人工拆卸及人工清扫，大大增加了作业人员的劳动强度；另外，整个拆装及清扫过程会使粉尘四处飞舞，污染了环境。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种反应腔内壁清扫装置，通过所述反应腔内壁清扫装置可节约人力及清扫时间，且使清扫过程清洁无污染。

本实用新型的目的是这样实现的：一种反应腔内壁清扫装置，其包括一设置在该反应腔内用以清扫反应腔内壁的清扫单元、一驱动该清扫单元清扫反应腔内壁的驱动单元以及一设置在该反应腔底端且与反应腔连通的收集单元。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该驱动单元包括分别设置在腔体两端外部的两电动机以及一控制该两电动机运作的控制单元。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该清扫单元包括一直径与反应腔直径相匹配的清扫部、分别设置在清扫部两面上的两连接部以及一端分别连接在两连接部上的两连接件，其中，该两连接件的另一端分别缠绕连接在两电动机的输出轴上。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该连接部呈圆锥状，该连接件恰连接在锥顶。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该连接件为链条。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该清扫部为一钢环。

与现有的无反应腔内壁清扫装置而需拆开反应腔进行人力清扫相比，本实用新型采用驱动单元驱动清扫单元直接清扫反应腔内壁，并由收集单元收集清扫单元所清扫出的粉尘，如此可极大地节约人力及清扫时间，且使清扫过程变得清洁无污染。

附图说明

本实用新型的反应腔内壁清扫装置由以下的实施例及附图给出。

图1为本实用新型的反应腔内壁清扫装置剖视图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的反应腔内壁清扫装置作进一步的详细描述。

如图1所示，本实用新型的反应腔内壁清扫装置，用于对反应腔2的内壁进行清扫，其包括清扫单元10、驱动单元11和收集单元12。

清扫单元10，其设置在该反应腔2内，其包括清扫部100、分别设置在清扫部100两面上的连接部101a、101b和一端分别与连接部101a、101b相连的连接件102a、102b。

在本实施例中，清扫部100为一不锈钢环，其直径与反应腔2的直径相匹配，且清扫部100与反应腔内壁相接触的面上设置有钢刷；连接部101a、101b由多个辐条焊接而成且其呈圆锥状，连接件102a、102b恰连接在连接部101a、101b的锥顶部位；连接件102a、102b均为链条，其一端分别连接在两连接部102a、102b上，另一端均与驱动单元11连接。

驱动单元11包括两电动机110a、110b和控制单元111。其中，电动机110a、110b分别设置在反应腔两端的外侧，连接件102a、102b的另一端分别缠绕连接在电动机110a、110b的输出轴上；控制单元111用以控制电动机110a、110b的运作。