[实用新型]离子源引出缝调节控制系统无效

专利信息
申请号: 200620113054.X 申请日: 2006-04-24
公开(公告)号: CN200964436Y 公开(公告)日: 2007-10-24
发明(设计)人: 谢均宇;孙勇;王玮琪;王迪平 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;H01J37/317;H01L21/265
代理公司: 北京中海智圣知识产权代理有限公司 代理人: 曾永珠
地址: 100036北京市海淀区复兴路*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 离子源 引出 调节 控制系统
【权利要求书】:

1、离子源引出缝调节控制系统,包括主控制器、模拟量控制电路、直流电机、电位器和反馈控制驱动电路,其特征是模拟量控制电路一端通过光纤与主控制器连接,另一端与反馈控制驱动电路连接,反馈控制驱动电路与电机连接;模拟量控制电路将主控制器发送的位置信号转变成电压信号传送给反馈控制驱动电路,反馈控制驱动电路将电压信号进行处理后,驱动电机运动,电机带动引出缝在三个方向上移动到目标位置,电位器装在直流电机的转轴上,直流电机上装有丝杆。

2、根据权利要求1所述的离子源引出缝调节控制系统,其特征在于所述的主控制器为工控机。

3、根据权利要求1所述的离子源引出缝调节控制系统,其特征在于所述的电位器为旋转式电位器。

4、根据权利求1所述的离子源引出缝调节控制系统,其特征在于所述的反馈控制驱动电路包括数字量驱动电路、电机驱动电路、运算放大器、继电器,其中电机驱动电路连接两个运算放大器,电机驱动电路与电机之间设有继电器。

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