[实用新型]离子源引出缝调节控制系统无效
申请号: | 200620113054.X | 申请日: | 2006-04-24 |
公开(公告)号: | CN200964436Y | 公开(公告)日: | 2007-10-24 |
发明(设计)人: | 谢均宇;孙勇;王玮琪;王迪平 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;H01J37/317;H01L21/265 |
代理公司: | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人: | 曾永珠 |
地址: | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 离子源 引出 调节 控制系统 | ||
1、离子源引出缝调节控制系统,包括主控制器、模拟量控制电路、直流电机、电位器和反馈控制驱动电路,其特征是模拟量控制电路一端通过光纤与主控制器连接,另一端与反馈控制驱动电路连接,反馈控制驱动电路与电机连接;模拟量控制电路将主控制器发送的位置信号转变成电压信号传送给反馈控制驱动电路,反馈控制驱动电路将电压信号进行处理后,驱动电机运动,电机带动引出缝在三个方向上移动到目标位置,电位器装在直流电机的转轴上,直流电机上装有丝杆。
2、根据权利要求1所述的离子源引出缝调节控制系统,其特征在于所述的主控制器为工控机。
3、根据权利要求1所述的离子源引出缝调节控制系统,其特征在于所述的电位器为旋转式电位器。
4、根据权利求1所述的离子源引出缝调节控制系统,其特征在于所述的反馈控制驱动电路包括数字量驱动电路、电机驱动电路、运算放大器、继电器,其中电机驱动电路连接两个运算放大器,电机驱动电路与电机之间设有继电器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司,未经北京中科信电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200620113054.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:风冷螺杆式冷水热泵机组除霜用回油装置
- 下一篇:移载机轨道间隙找正型行走轮
- 同类专利
- 专利分类