[实用新型]离子源引出缝调节控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种调节控制系统，尤其涉及一种半导体制造中离子注入所用的离子源引出缝的调节控制系统，属于半导体器件制造的控制领域。

背景技术

随着半导体行业的迅猛发展，半导体设备对工艺的要求也越来越高，离子注入机的束流传输效率好和束流品质高是满足注入工艺的基本要求，在离子注入机的光路系统中，离子源引出缝的位置对束流的传输效率和束流品质起着非常重要的作用。然而，根据的离子源的状态的不同，引出缝引出最佳束流的位置也可能不同，与以往采用固定位置的引出缝不同的是，当前的国内外离子注入机都是采用可调节的引出缝来适应这种需求。由于离子源引出缝所处的环境是离子注入机最高电位，干扰信号强，调节的稳定性要求很高，这就给控制系统提出了很高的要求。

发明内容

为了解决上述存在的问题，本实用新型的目的是提供了一种采用一套闭环控制电路控制三个电机，通过电机调节离子源引出缝，使其稳定在最合适的位置，并且抗干扰能力强的离子源引出缝调节控制系统。

本实用新型的技术方案是这样实现的，一种离子源引出缝调节控制系统，包括主控制器、模拟量控制电路、直流电机、电位器和反馈控制驱动电路，其中模拟量控制电路一端通过光纤与主控制器连接，另一端与反馈控制驱动电路连接，反馈控制驱动电路与电机连接；模拟量控制电路将主控制器发送的位置信号转变成电压信号传送给反馈控制驱动电路，反馈控制驱动电路将电压信号进行处理后，驱动电机运动，电机带动引出缝在三个方向上移动到目标位置，电位器装在直流电机的转轴上，直流电机上装有丝杆。

所述的主控制器为工控机，用于判断接收到的束流信息，来决定调节离子源引出缝的数值大小。

所述的模拟量控制电路是通用的模拟量控制电路，用于执行主控制器发送的命令，输出电压信号给直流电机。

所述的三个直流电机直接调节离子源引出缝运动的执行部件，可以分别带动引出缝在三个方向运动。

所述的三个电位器用于给模拟量控制电路分别提供三个方向调节反馈电压，它们分别装在三个直流电机的转轴上，直流电机在带动引出缝运动的同时，通过相应电位器的电压也随之变化，这样就能实时反馈引出缝的位置电压信号。

电位器为旋转式电位器。

所述的反馈控制驱动电路包括数字量驱动电路、电机驱动电路、运算放大器、继电器，其中电机驱动电路连接两个运算放大器，电机驱动电路与电机之间设有继电器。反馈控制驱动电路是通过三个继电器来切换控制三个方向的电机，同时利用闭环控制的原理，将反馈的位置电压信号通过运算放大器和模拟控制板输出的目标位置的电压信号作比较，从而输出一个调节信号，再通过电机驱动电路输出给直流电机，驱动电机运行。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、将控制信号与反馈信号通过运算放大器的比较输出，消除了干扰信号引起的电压突变的状况，从硬件上解决了输出控制信号的抗干扰问题。

2、采用闭环控制原理，离子源引出缝的位置反馈信号参与控制电机运动，使电路进行自动调节，让电机稳定在设定值。

附图说明

图1为本实用新型结构框图；

图2为反馈控制驱动电路原理图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

如图1所示，一种离子源引出缝调节控制系统，一种离子源引出缝调节控制系统，包括主控制器1、模拟量控制电路2、直流电机7、电位器4和反馈控制驱动电路3，其中模拟量控制电路2一端通过光纤与主控制器1连接，另一端与反馈控制驱动电路3连接，反馈控制驱动电路3与电机7连接；模拟量控制电路2将主控制器1发送的位置信号转变成电压信号传送给反馈控制驱动电路3，反馈控制驱动电路3将电压信号进行处理后，驱动电机7运动，电机7带动引出缝在三个方向上移动到目标位置，电位器4装在直流电机的转轴上，直流电机7上装有丝杆6。