[实用新型]蚀刻机无效
| 申请号： | 200620162314.2 | 申请日： | 2006-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN201022072Y | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 张韬;杨佐东;熊丹;邹锦宇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;C23C4/00;C23C4/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 | ||
1.一种蚀刻机，包括蚀刻机内用来进行刻蚀晶圆的腔体和位于该腔体内壁上用来阻挡等离子气体的隔离门以及连接隔离门并控制隔离门开启和关闭的隔离门控制装置，其特征在于，所述隔离门控制装置包括，
气缸，连通隔离门，用于开启及关闭隔离门；
进气管道，连通气缸上的进气口，用于向气缸输入气体控制气缸开启隔离门；
出气管道，连通气缸上的出气口，用于从气缸抽取气体控制气缸关闭隔离门；
进气管道和出气管道上的可调节装置，用于分别控制进气管道和出气管道内的气体流量。
2.如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于，所述可调节装置是节流阀。
3.如权利要求2所述的蚀刻机，其特征在于，所述节流阀包括连通进气管道或出气管道的三通管和螺纹连接于三通管上用来调节三通管内气体流量的旋钮。
4.如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于，所述可调节装置是可调流量计。
5.如权利要求4所述的蚀刻机，其特征在于，所述可调流量计包括连通进气管道或出气管道的三通管和螺纹连接于三通管上显示三通管内气体压力的压力显示计以及螺纹连接于三通管上用来调节三通管内气体流量的旋钮。
6.如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于，所述进气管道和出气管道为密封的塑料软管。
7.如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于，所述进气管道通过螺纹连接或插口连接的方式与气缸上的进气口连通。
8.如权利要求1所述的蚀刻机，其特征在于，所述出气管道通过螺纹连接或插口连接的方式与气缸上的出气口连通。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
