[实用新型]蚀刻机

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺的蚀刻技术，特别涉及采用蚀刻技术的蚀刻机。

背景技术

蚀刻，即将形成在晶圆表面上的薄膜全部，或特定处所去除至必要厚度的制程。蚀刻机，作为半导体制程中重要的生产用机台，主要用于完成晶圆的蚀刻工艺。

美国应用材料公司的eMax Centura II Schematic Volume I December1999产品说明书公开DEOXA12系列等离子蚀刻机，采用等离子气体蚀刻技术。DEOXA12系列等离子蚀刻机包含一个用于进行等离子蚀刻的腔体，如图1所示，腔体(未标号)包括腔体内壁1和位于腔体底部用来容置晶圆的夹盘2。其中夹盘2的表面有连通等离子气体供应装置的喷射孔4，用来向腔体内喷射等离子气体来对腔体内的晶圆进行蚀刻。而腔体内壁1上有用来阻挡等离子气体的隔离门3，该隔离门3的开启和关闭由如图2所示的隔离门3控制装置控制。如图2所示，该隔离门3控制装置包括连通隔离门3的气缸10和连通气缸10上的进气口5来控制隔离门3开启的进气管道7以及连通气缸10上的出气口6来控制隔离门3关闭的出气管道8，其中进气管道7和出气管道8连通蚀刻机外部的气体供应装置。而气缸10上还设有两个螺栓9，用来分别对进气管道7和出气管道8内的气体流量进行调节，从而实现控制隔离门3关闭开启和关闭速度的目的。

但是DEOXA12系列等离子蚀刻机的控制隔离门开启和关闭的控制装置有以下缺点：

1.气缸上的螺栓调节的精度不高，使得连通气缸用来分别控制隔离门开启和关闭的进气管道和出气管道内的气体流量不适合，从而造成隔离门的开启和关闭速度不当，导致隔离门与腔体内壁剧烈碰撞，引起腔体内壁上的涂层颗粒剥落，缩短了整个腔体的使用寿命。

2.气缸上的螺栓经一定时间使用后会失效，从而无法调节进气管道和出气管道内的气体流量，并且气缸上的螺栓无法更换，只能更换整个气缸，花费开支巨大。

实用新型内容

本实用新型即是为了解决蚀刻机腔体内的隔离门的控制装置调节精度不高导致的腔体使用寿命缩短以及隔离门控制装置的螺栓失效后更换气缸花费开支巨大的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种蚀刻机，包括蚀刻机内用来进行刻蚀晶圆的腔体和位于该腔体内壁上用来阻挡等离子气体的隔离门以及连接隔离门并控制隔离门开启和关闭的隔离门控制装置提供了蚀刻机腔体内的隔离门的控制装置，该隔离门控制装置包括：

气缸，连通隔离门，用于开启及关闭隔离门；

进气管道，连通气缸上的进气口，用于向气缸输入气体控制气缸开启隔离门；

出气管道，连通气缸上的出气口，用于从气缸抽取气体控制气缸关闭隔离门；

进气管道和出气管道上的可调节装置，用于分别控制进气管道和出气管道内的气体流量。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1.本实用新型蚀刻机的隔离门控制装置的可调节装置能够以较高的精度对于隔离门控制装置的进气管道和出气管道内的气体流量进行调节，从而防止由于隔离门的开启和关闭速度不适合而导致隔离门剧烈碰撞腔体内壁，因此提高了腔体的使用寿命；

2.本实用新型蚀刻机的隔离门控制装置的可调节装置拆卸方便，如可调节装置失效，即可用新的可调节装置代替而无需更换气缸，因此解决了更换气缸引起的开支巨大的问题。

附图说明

图1是现有技术蚀刻机的腔体内部示意图；

图2是现有技术蚀刻机的隔离门控制装置示意图；

图3是本实用新型蚀刻机的隔离门控制装置结构示意图；

图4是本实用新型蚀刻机的隔离门控制装置另一结构示意图。

具体实施方式

本实用新型蚀刻机通过对于隔离门控制装置进行改进，在隔离门控制装置的进气管道和出气管道上安装可调节装置，来解决现有技术中隔离门控制装置调节精度不高以及更换气缸花费开支巨大的问题。

如图3所示，本实用新型蚀刻机包括蚀刻机内用来进行刻蚀晶圆的腔体和位于该腔体内壁上用来阻挡等离子气体的隔离门以及连接隔离门并控制隔离门开启和关闭的隔离门控制装置，该隔离门控制装置包括：

气缸10，连通隔离门，用于开启及关闭隔离门；

进气管道7，为密封的塑料软管，以螺纹连接或插口连接的方式连通气缸10上的进气口5，用于向气缸输入气体控制气缸开启隔离门；

出气管道8，为密封的塑料软管，以螺纹连接或插口连接的方式连通气缸10上的出气口6，用于从气缸抽取气体控制气缸关闭隔离门；