[实用新型]试片研磨工具无效
申请号: | 200620164752.2 | 申请日: | 2006-12-27 |
公开(公告)号: | CN200995364Y | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
发明(设计)人: | 石东益 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | B24D17/00 | 分类号: | B24D17/00;H01L21/304;B24B29/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 试片 研磨 工具 | ||
1.一种试片研磨工具,其特征在于,适于将试片定位在研磨垫上,该试片研磨工具包括:
主体,具有接合面及多个凸柱,其中该接合面适于让该试片接合其上,以使该试片的欲研磨处适于接触该研磨垫,而该些凸柱适于接触该研磨垫,以将该主体支撑于该研磨垫上方。
2.如权利要求1所述的试片研磨工具,其特征在于,该主体还具有对位标记,其位在该接合面上,而该对位标记适于让该试片的侧边对准。
3.如权利要求2所述的试片研磨工具,其特征在于,当该试片的欲研磨处接触该研磨垫时,该接合面未面朝该研磨垫。
4.如权利要求2所述的试片研磨工具,其特征在于,该对位标记倾斜于该研磨垫。
5.如权利要求2所述的试片研磨工具,其特征在于,该对位标记由该接合面的阶梯结构所构成。
6.如权利要求2所述的试片研磨工具,其特征在于,该对位标记由该接合面的凹陷刻痕所构成。
7.如权利要求2所述的试片研磨工具,其特征在于,该对位标记由该接合面的颜料痕迹所构成。
8.如权利要求1所述的试片研磨工具,其特征在于,当该试片的欲研磨处接触该研磨垫时,该接合面面朝该研磨垫。
9.如权利要求8所述的试片研磨工具,其特征在于,该接合面具有嵌槽,其适于让该试片接合其内。
10.如权利要求1所述的试片研磨工具,其特征在于,该些凸柱的末端及该试片的欲研磨处实质上位于同一平面,但不位于该平面上的任一直线。
11.如权利要求1所述的试片研磨工具,其特征在于,该主体具有夹持部及受到该夹持部所夹持的接合部,而该接合部可拆卸自该夹持部,且该接合部具有该接合面。
12.如权利要求11所述的试片研磨工具,其特征在于,该夹持部具有两夹持臂,其末端构成夹持槽,用以容纳该接合部,而该夹持部具有压力调整器,其位于该些夹持臂之间,用以调整该些夹持臂夹持该接合部的力量。
13.如权利要求12所述的试片研磨工具,其特征在于,该压力调整器为螺栓,其贯穿该些夹持臂。
14.如权利要求1所述的试片研磨工具,其特征在于,该主体具有多个延伸部,其分别具有该些凸柱。
15.如权利要求14所述的试片研磨工具,其特征在于,该些延伸部分别具有长度调整器,用以调整对应的该凸柱相对突出于该延伸部的长度。
16.如权利要求15所述的试片研磨工具,其特征在于,该长度调整器为螺栓,其穿入对应的该延伸部,并耦接对应的该凸柱。
17.一种试片研磨工具,其特征在于,适于将试片定位在研磨垫上,该试片研磨工具包括:
主体,具有接合面及位于该接合面上的对位标记,其中该接合面适于让该试片接合其上,以使该试片的欲研磨处适于接触该研磨垫,而该对位标记适于让该试片的侧边对准,且该主体还具有多个凸柱,其适于接触该研磨垫,以将该主体支撑于该研磨垫上方。
18.如权利要求17所述的试片研磨工具,其特征在于,当该试片的欲研磨处接触该研磨垫时,该接合面未面朝该研磨垫。
19.如权利要求17所述的试片研磨工具,其特征在于,该对位标记倾斜于该研磨垫。
20.如权利要求17所述的试片研磨工具,其特征在于,该对位标记由该接合面的阶梯结构所构成。
21.如权利要求17所述的试片研磨工具,其特征在于,该对位标记由该接合面的凹陷刻痕所构成。
22.如权利要求17所述的试片研磨工具,其特征在于,该对位标记由该接合面的颜料痕迹所构成。
23.如权利要求17所述的试片研磨工具,其特征在于,该些凸柱的末端及该试片的欲研磨处实质上位于同一平面,但不位于该平面上的任一直线。
24.如权利要求17所述的试片研磨工具,其特征在于,该主体具有夹持部及受到该夹持部所夹持的接合部,而该接合部可拆卸自该夹持部,且该接合部具有该接合面及该对位标记。
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