[发明专利]扫描电子束照射装置

权利要求书

1.一种扫描电子束照射装置，其特征在于包括：

平台，支持着试料并至少于二次元方向可移动；

电子束源，照射扫描电子束至前述试料；

标记，设置于前述平台；

检测机构，检测出从前述扫描电子束的照射位置而来的荷电粒子；

图像形成机构，根据前述检测机构而来的检测信号，形成扫描图像；以及

控制机构，检测出前述图像形成机构所形成的前述标记的扫描图像的位置偏移，并算出位置偏移校正系数，根据该位置偏移校正系数，控制前述电子束源及平台的驱动。

2.根据权利要求1所述的扫描电子束照射装置，其特征在于：

上述标记是由用以检测出前述平台坐标的平台用符号所构成，

该平台用符号具有，决定平台上的位置的位置符号，以及决定位置符号的方向的方向符号。

3.根据权利要求1所述的扫描电子束照射装置，其特征在于前述图像形成机构包含扫描图像记忆部，其根据从前述检测机构而来的检测信号，形成扫描图像，并记忆该扫描图像。

4.根据权利要求1所述的扫描电子束照射装置，其特征在于前述控制机构包括：

位置偏移校正系数计算部，检测出前述图像形成机构所得的扫描图像与前述标记的位置偏移，并算出位置偏移校正系数；以及

控制部，根据该位置偏移校正系数，控制前述电子束源及平台的驱动。

5.根据权利要求4所述的扫描电子束照射装置，其特征在于还包括记忆部，记忆前述位置偏移校正系数。

6.根据权利要求1所述的扫描电子束照射装置，其特征在于：

具有多个电子束源，且

上述标记是设置于上述各电子束源的扫描电子束的各扫描范围内的扫描电子束用符号，根据该扫描电子束用符号的扫描图像的位置偏移，于扫描电子束的坐标系中至少求出电子束源的旋转方向偏移、Y轴方向偏移、X轴方向偏移中的任一个位置偏移量。

7.根据权利要求6所述的扫描电子束照射装置，其特征在于所述的扫描电子束用符号具有：

含有上述扫描方向上的直线的水平符号，以及含有对上述水平符号呈倾斜的方向上的直线的倾斜符号。

8.根据权利要求7所述的扫描电子束照射装置，其特征在于：

根据上述水平符号的两端的Y轴方向上的位置偏移量，求出旋转方向偏移，

在利用两个电子束源而获得的扫描图像的两个水平符号中，根据同一部分的Y轴方向的位置偏移量，求出Y轴方向偏移，

在利用两个电子束源而获得的扫描图像的两个倾斜符号中，根据同一部分的Y轴方向的位置偏移量，求出X轴方向偏移。