[发明专利]扫描电子束照射装置

说明书

技术领域

本发明是关于一种将电子束或离子束等荷电粒子束照射于试料上进行二次元扫描且形成扫描图像的扫描电子束照射装置，特别是关于一种具有对扫描图像的直线性进行校正的功能的扫描电子束照射装置。

背景技术

使从一个或多个的电子束源而来的扫描电子束照射于试料上进行二次元扫描时，借由使扫描电子束与试料平台于X轴方向以及Y轴方向相对移动，通常，于X轴方向移动1列而取得检测信号之后，反复进行于Y轴方向移动1列的操作，借此取得1框(frame)的扫描信号。

当平台的坐标系与扫描电子束的坐标系不一致的情形时，于可取得检测信号的扫描图像位置、与配置于平台上的试料位置之间，产生位置偏移(扫描信号的视野偏移)。

先前，该位置偏移的校正，借由于试料上设有用以定位的标记，使平台动作且确认设于试料上的标记的位置，并对平台的坐标与扫描电子束的坐标进行坐标转换而进行。

又，于对扫描信号的视野偏移进行校正时，是以一边目测确认扫描图像且一边手动求出校正值。

[发明所欲解决的问题]

然而，为了对扫描信号的视野偏移进行校正，一边以目测确认扫描图像且一边手动求出校正值的话，存有扫描的操作时间变长的问题，此外，因无客观基准故而亦存有因操作者不同而造成校正值不同的问题。

又，因于试料侧设有用以获得校正值的标记，故而每次交换试料均会发生位置偏移，从而产生较难求出平台动作与扫描电子束的关系的问题。

又，借由从多个电子束源而来的扫描电子束进行扫描的构成中，必须对该等多个电子束源间的相对位置进行校正。对该电子束源间的相对位置进行校正时，必须计算电子束源间的电子束间距或每个控制值的移动量等，同时借由人工进行该等运算的情形时，存在以下问题，即产生计算或偏移方向的错误等人为的错误。

发明内容

因此，本发明的目的在于解决上述的习知的问题点，以提供一种扫描电子束照射装置，其可自动地对扫描信号的视野偏移进行校正。

又，本发明的目的在于提供一种扫描电子束照射装置，对多个电子束源的相对位置关系进行校正，并对电子束源的旋转方向、X轴方向、Y轴方向的至少一个位置偏移进行校正。

为了达成上述目的本发明的一个实施例的扫描电子束照射装置具备有：平台，支持着试料并至少于二次元方向可移动；电子束源，照射出由荷电粒子构成的扫描电子束至前述试料；标记，设置于支持着前述试料的平台上；检测机构，检测出从扫描电子束所照射的试料而来的荷电粒子；图像形成机构，根据前述检测机构而来的检测信号，形成扫描图像；以及控制机构，检测出此图像形成机构所形成的前述标记的扫描图像的位置偏移，并算出位置偏移校正系数，根据该位置偏移校正系数，控制前述电子束源及平台的驱动。

上述标记，举例而言，是由用以检测出前述平台坐标的平台用符号所构成，这个平台用符号具有，决定平台上的位置的位置符号，以及决定位置符号的方向的方向符号。

前述图像形成机构包含扫描图像记忆部，其根据从前述检测机构而来的检测信号，形成扫描图像，并记忆此扫描图像。

前述控制机构包括：位置偏移校正系数计算部，检测出前述图像形成机构所得的扫描图像与前述标记的位置偏移，并算出位置偏移校正系数；以及控制部，根据该位置偏移校正系数，控制前述电子束源及平台的驱动。

本发明的扫描电子束照射装置，还包括记忆部，记忆位置偏移校正系数。

又，本发明的扫描电子束照射装置，具有多个电子束源，其放出照射到试料的扫描电子束。

标记，举例而言，是由设置于各电子束源的扫描电子束的各扫描范围内的扫描电子束用符号所构成，根据此扫描电子束用符号的扫描图像的位置偏移，于扫描电子束的坐标系中至少可求出电子束源的旋转方向偏移、Y轴方向偏移、X轴方向偏移中的任一个位置偏移量。

扫描电子束用符号包括含有扫描方向上的直线的水平符号，以及含有对此水平符号倾斜的方向上的直线的倾斜符号。

旋转方向偏移可利用水平符号的两端的Y轴方向位置偏移量而求得。Y轴方向偏移可根据由两个电子束源而获得的扫描图像的两个水平符号中同一部分的Y轴方向的位置偏移量而求出。X轴方向偏移可根据由两个电子束源而获得的扫描图像的两个倾斜符号中同一部分的Y轴方向的位置偏移量而求出。

发明的效果

依照本发明，能够自动地检测出标记的扫描图像的位置与平台上的标记的位置的位置偏移，且可自动地校正此位置偏移，