[发明专利]自动聚焦跟踪系统

权利要求书

1.一种装置，包括：

非接触式传感器，适于连续地测量控制端与面板之间的距离，所 述面板相对于所述控制端处于运动状态；

伺服控制系统，所述伺服控制系统进一步包括：

控制电路，适于产生由测得的距离和第一预定值所限定的第一信 号；以及

执行机构，适于依照所述第一信号改变所述控制端的位置，以使 得所述控制端与所述面板之间的距离连续不断地保持在预定范围内。

2.如权利要求1所述的装置，还包括：

模数转换器，适于将所述非接触式传感器产生的有关的模拟信号 转换为数字信号。

3.如权利要求2所述的装置，还包括：

信号调节模块，适于使所述经转换的数字信号线性化，以产生代 表所述测得的距离的线性化信号。

4.如权利要求3所述的装置，其中所述执行机构包括：

放大器；

线性电机；以及

线性编码器。

5.如权利要求4所述的装置，其中所述控制端适于检验所述面板。

6.如权利要求4所述的装置，其中所述控制端适于修复所述面板。

7.如权利要求4所述的装置，其中所述控制端包括在所述面板上 聚焦的显微镜的物镜。

8.如权利要求7所述的装置，还包括：

第一探测器，适于响应于光束的第一图像而产生第二信号；

第二探测器，适于响应于所述光束的第二图像而产生第三信号； 其中所述第一信号由所述第二信号和所述第三信号来限定；并且

其中，如果所述第一信号的值等于或小于以所述预定范围为特征 的第二预定值，则将所述显微镜检测为相对于所述面板是焦点对准的。

9.如权利要求8所述的装置，其中如果物面位于最佳聚焦平面上 方，从而使被照亮的光斑出现在所述显微镜的主光轴的第一侧，那么 所述第二信号大于所述第三信号。

10.如权利要求9所述的装置，其中响应于大于所述第三信号的 所述第二信号，在所述第一探测器上形成图像。

11.如权利要求10所述的装置，其中，如果物面位于最佳聚焦平 面下方，从而使被照亮的光斑出现在所述显微镜的主光轴的第二侧， 那么所述第二信号小于所述第三信号。

12.如权利要求11所述的装置，其中响应于小于所述第三信号的 所述第二信号，在所述第二探测器上形成图像。

13.如权利要求12所述的装置，其中所述第一预定值被动态更新， 以解决多种外部情况。

14.如权利要求12所述的装置，其中所述外部情况代表适于接收 所述面板的卡盘的平整度的偏差。

15.如权利要求12所述的自动聚焦跟踪系统，其中所述外部情况 代表所述面板的厚度的偏差。

16.如权利要求15所述的自动聚焦跟踪系统，其中所述第一预定 值为0。

17.一种将端部连续保持在面板的预定范围内的方法，包括以下 步骤：

以非接触的方式连续测量所述端部与所述面板之间的距离；

检测所述测得的距离与预定距离之间的差值；以及

相对于所述面板改变所述端部的位置，以保持所检测到的差值小 于已知值，从而将所述端部保持在所述面板的预定范围内。

18.如权利要求17所述的方法，进一步包括：

将代表所述测得的距离的模拟信号转变为数字信号。

19.如权利要求18所述的方法，进一步包括：

对所述经转换的数字信号进行线性化。

20.如权利要求17所述的方法，进一步包括：

使用所述端部检验所述面板。