[发明专利]通过四氯硅烷的热氢化反应制备三氯硅烷的方法

权利要求书

1.一种使含四氯化硅的反应物气体和含氢气的反应物气体在700-1500℃ 的温度下反应以形成含三氯硅烷的产物混合物的方法，其特征在于，产物混合 物通过热交换器冷却，该产物混合物在反应物气体于热交换器中的停留时间τ [ms]内冷却到温度T_cooling，

其中A＝4000，6≤B≤50，100℃≤T_Cooling≤900℃，，并且经由热交换器除去 的产物气体的能量用于加热反应物气体。

2.权利要求1的方法，其特征在于7≤B≤30，200℃≤T_Cooling≤800℃，优 选280℃≤T_Cooling≤700℃。

3.权利要求1或2的方法，其特征在于反应气体在反应器中的停留时间低 于0.5s。

4.权利要求1-3之一的方法，其特征在于冷却在低于50ms之内进行到 700℃。

5.权利要求1-4之一的方法，其特征在于热交换器的热传递系数为＞300 watts/m²K。

6.权利要求1-5之一的方法，其特征在于热交换器的交换表面与体积的 比为＞400m^-1。

7.权利要求1-6之一的方法，其特征在于热交换器的水力直径为＜5mm。

8.权利要求1-7之一的方法，其特征在于热交换器由选自以下组中的材 料制造：碳化硅、氮化硅、石英玻璃、石墨、SiC涂覆的石墨和这些材料的组合。

9.权利要求8的方法，其特征在于热交换器由碳化硅制造。