[发明专利]探针阵列以及探针阵列的制造方法

权利要求书

1.一种探针阵列，在基板上具有经分隔的、固定有多个探针的1个以上的阵列区域，在所述基板上安装有隔板，所述隔板具有用于分隔1个以上所述阵列区域的隔壁。

2.如权利要求1所述的探针阵列，其中，所述阵列区域为多个。

3.如权利要求1或2所述的探针阵列，其中，所述隔板安装在所述基板上的固定所述探针的探针固定层的表面。

4.如权利要求3所述的探针阵列，其中，所述隔板是在固定所述探针之后被安装在所述探针固定层表面。

5.如权利要求1～4中任一项所述的探针阵列，其中，所述隔板为片状，通过粘接层被固定在基板上。

6.如权利要求1～5中任一项所述的探针阵列，其中，所述隔板以能与所述基板分离的方式被固定。

7.如权利要求1～6中任一项所述的探针阵列，其中，所述隔板的至少一部分具有疏水性区域。

8.如权利要求7所述的探针阵列，其中，在所述隔板的所述隔壁的顶面具有所述疏水性区域。

9.如权利要求7或8所述的探针阵列，其中，所述疏水性区域的水接触角为60°以上。

10.如权利要求7～9中任一项所述的探针阵列，其中，所述疏水性区域含有选自聚碳酸酯、聚烯烃、聚酰胺、聚酰亚胺和丙烯酸树脂及这些物质的氟化物和卤化物中的材料。

11.如权利要求1～10中任一项所述的探针阵列，其中，由所述隔板的分隔所述阵列区域的隔壁所围成的区域，在所述阵列区域上构成用于所述探针与待测试样相互作用的开放空腔。

12.如权利要求1～11中任一项所述的探针阵列，其中，由所述隔壁所规定的所述阵列区域的设计面积为0.3mm²以上2000mm²以下。

13.如权利要求1～12中任一项所述的探针阵列，其中，具有1个以上400个以下所述阵列区域。

14.如权利要求1～13中任一项所述的探针阵列，其中，由所述隔壁所规定的所述阵列区域的设计面积Sd为90mm²以下，由下式(1)表示的检测有效面积率为70％以上，

检测有效面积率(％)＝Se[mm²]/Sd[mm²]×100  (1)

这里，Se表示基于探针与待测试样的相互作用的信号强度的变动系数为20％以下的区域面积。

15.如权利要求1～14中任一项所述的探针阵列，其中，经分隔的所述阵列区域，该阵列区域内除了从所述隔壁开始0.8mm以内的范围之外的区域内，由检测得到的信号强度的变动系数为20％以下。

16.如权利要求1～15中任一项所述的探针阵列，其中，经分隔的所述阵列区域，其深度d为10μm以上240μm以下。

17.如权利要求1～16中任一项所述的探针阵列，其中，经分隔的所述阵列区域，其由下式(2)表示的比值R为0.02以下，

R＝d[mm]/Sd[mm²]    (2)

这里，d表示阵列区域的深度，Sd表示阵列区域的设计面积。

18.如权利要求1～17中任一项所述的探针阵列，其中，所述隔板能够形成多个不同高度的隔壁。

19.如权利要求18所述的探针阵列，其中，所述隔板能够在10μm以上1000μm以下范围内形成多个不同高度的隔壁。

20.如权利要求1～19中任一项所述的探针阵列，其中，所述隔板能够去除所述隔壁的至少一部分从而降低所述隔壁的高度。

21.如权利要求18～20中任一项所述的探针阵列，其中，在向所述探针供给待测试样使其反应时，所述隔板的隔壁具有60μm以上的高度，在检测所述反应后的反应生成物的信号时，所述隔板的隔壁具有不到60μm的高度。

22.如权利要求18～21中任一项所述的探针阵列，其中，所述阵列区域的面积为0.3mm²以上。