[发明专利]用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置和方法

说明书

本发明涉及一种用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置和方法。

在制造光学数据载体，如例如CD，DVD，Blu-ray(蓝光)和它们各自的下级格式(Unterfomaten)时，需要在载体衬底上施加反射覆层。依据要形成的光学数据载体的不同情况，可能需要将一个覆层施加到一个单一的载体衬底上(单层格式)或者将两个由通常不同的材料或材料组分构成的覆层施加到两个不同的载体衬底上(双层格式)。对于未来还可以考虑将两个或更多个由可能是不同的材料构成的覆层施加到载体衬底上。

涂覆一般通过阴极溅镀装置实施，其中由涂覆材料构成的靶子被溅射，以涂覆载体衬底。此时涂覆总是在真空中实施的。

为了制造单层格式和双层格式分别采用了不同的阴极溅镀装置，其中为了制造双层格式使用了两个单独的涂覆装置具有单独的闸腔、输送腔和阴极溅射腔。此时的缺点是需要相对较大数量的阴极溅镀装置，特别是对于双层格式而言，它们需要自己的带有相应的输送单元的闸腔和输送腔。

因此，从已知的涂覆装置出发，本发明的任务是，提出一种用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置和方法，它能够以简单的和成本有利的方式实现衬底的涂覆，特别是平行地涂覆用于双层格式的单独的衬底。

按照本发明，该任务在一种用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置中这样得到解决，即该装置具有以下部分：构成真空腔的外壳，其中外壳具有至少两个涂覆口和至少一个输入/输出口，其中至少两个衬底可以同时通过输入/输出口装入真空腔中或从真空腔中卸出；至少两个阴极溅射装置，其中每个阴极溅射装置从外部真空密封地封闭外壳的涂覆口中的一个涂覆口，和其中阴极溅射装置各具有一个要溅射的靶子；布置在真空腔内的输送装置，其用于在至少一个输入/输出口和涂覆口之间同时输送至少四个衬底；和控制单元，其用于依据要求的涂覆结果这样地控制输送装置，使得衬底从至少一个输入/输出口按顺序地输送到第一涂覆口、第二涂覆口和接着输送到至少一个输入/输出口(串联控制)或这样地，使得衬底从至少一个输入/输出口输送到一个涂覆口和接着直接地输送到至少一个输入/输出口(并联控制)。上述装置能够一方面以很低的装置费用在并联控制输送装置的情况下实现单层格式和双层格式的制造，以及在串联控制输送装置时在衬底上涂覆两个或更多覆层。因此同一个装置可以用于不同的格式，并且对于双层格式可以设置一个单独的设备。此外特别是在衬底上涂覆多个覆层时不需要将衬底在具有自己的闸腔，输送装置等等的不同的涂覆装置中的不同的涂覆工序之间运进和又运出。这样就大大低降低了装置费用和控制技术上的费用。

本发明的任务还由一种用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置解决，其中该装置具有构成真空腔的外壳，其具有至少两个涂覆口和至少一个输入/输出口；两个阴极溅射装置，其分别从外部真空密封地封闭外壳的涂覆口中的一个涂覆口并且各具有一个要溅射的靶子；和布置在真空腔内的具有至少四个衬垫接纳器的输送装置，其用于在至少一个输入/输出口和至少两个涂覆口之间同时和并列地输送至少两个衬底。

上述装置特别是设计用于涂覆多个用于单层或双层格式的衬底，其中在一个具有单个的输送装置和单个的真空腔的单独的装置内能够同时涂覆至少两个衬底。

优选地，输入/输出口和涂覆口在外壳的一个共同的壁中构成，其简化了衬底的装载和卸载并且能够实现简单结构的输送装置。

按照本发明的一个优选实施例，至少两个阴极溅射装置具有不同的材料的靶子，这特别是对制造双层格式大多是必须的。但是，单层格式也可以用不同的覆层制造，只有要求的话。

按照本发明的一个特别优选的实施例，输送装置基本上在水平定向上支承衬底，这能够实现与现有的制造系统进行很好的连接，在这些系统中衬底一般在水平定向上支承。因此不需要改变衬底的位置，这便于建造和控制相应的操作装置。优选地，外壳的该壁是外壳的一个上壁，这便于衬底的装载和卸载和特别是便于对阴极溅射装置的作用，例如为了进行靶子更换或者维修。

优选地，输送装置具有可旋转的带至少四个接纳器的输送单元和至少一个单独的升降单元。通过将可旋转的输送单元与升降单元分开，各自的单元可以简单地构造和控制。为了使衬底或衬底盘运动到输入/输出口和/或涂覆口和从它们那里离开，此时需要升降单元。

优选地，设置至少两个单独的升降单元，以便例如为输入/输出口和涂覆口设置不同的升降单元。此时优选地使升降单元的升降元件与其中一个壁中的各自的开口对准。