[发明专利]曝光设备

权利要求书

1.一种曝光设备，包括：

曝光单元，其发射光束并扫描地曝光感光材料；

传送机构，其相对于曝光单元相对地运动，并沿扫描方向传送感光材料，所述感光材料被配置和保持在配置表面上；

容纳室，曝光单元和传送机构容纳在该容纳室中；

空气调节单元，其向容纳室供应温度调整的空气，用于空气调节；和

通风单元，其设置在容纳室上，并将来自空气调节单元的空气在沿扫描方向的方向上吹动。

2.一种曝光设备，包括：

曝光单元，其发射光束并扫描地曝光感光材料；

传送机构，其相对于曝光单元相对地运动，并沿扫描方向传送感光材料，所述感光材料被配置和保持在配置表面上；

容纳室，曝光单元和传送机构容纳在该容纳室中；

空气调节单元，其向容纳室供应温度调整的空气，用于空气调节；

室温测量仪，其测量容纳室的温度；

控制装置，其根据温度测量仪测量的温度来控制空气调节单元，并改变空气的调整温度；和

通风单元，其设置在容纳室上，并将来自空气调节单元的空气在沿扫描方向的方向上吹动。

3.如权利要求2所述的曝光设备，其中控制装置控制空气调节单元以便根据传送机构的运动来改变空气调节气流量。

4.如权利要求1所述的曝光设备，其中通风单元包括：

导管，其将来自空气调节单元的空气吹出到容纳室；和

气流方向改变构件，其将已经从导管吹出的空气的气流方向改变成沿扫描方向的方向。

5.如权利要求1所述的曝光设备，其中通风单元包括导管，所述导管在沿扫描方向的方向上将来自空气调节单元的空气吹出。

6.如权利要求4所述的曝光设备，其中在导管上设置有直线形部分，所述直线形部分以到流出口具有至少预定长度的直线形式形成，空气从所述流出口吹出。

7.如权利要求1所述的曝光设备，其中传送机构包括相对于配置表面的气流引导构件，所述气流引导构件设置在沿扫描方向的方向吹动的空气的流动方向的上游侧，并将沿扫描方向的方向吹动的空气引导到配置表面上。

8.如权利要求1所述的曝光设备，其中传送机构在这样的范围内运动，即在基本不改变曝光单元与传送机构之间形成的空间的形状的范围内。

9.如权利要求1所述的曝光设备，还包括：

设置在传送机构的运动路径之上的安装构件；和

读取单元，其安装在安装构件上并读取表示曝光位置基准的基准标记，用于相对于感光材料校正曝光位置，所述基准标记设置在感光材料上，

其中，安装构件包括这样一种形状，即当传送机构运动时基本不改变沿扫描方向的方向吹动的空气的流动状态的形状。

10.如权利要求9所述的曝光设备，其中安装构件包括阻挡构件，所述阻挡构件流动调节沿扫描方向的方向吹动的空气。

11.如权利要求1所述的曝光设备，还包括：

读取单元，其在沿扫描方向的方向上与曝光单元并列设置并读取表示曝光位置基准的基准标记，用于相对于感光材料校正曝光位置，所述基准标记设置在感光材料上；和

沿扫描方向呈平面状的透明隔离构件，其设置在传送机构与曝光单元和读取单元之间。

12.如权利要求2所述的曝光设备，其中驱动传送机构的驱动单元经绝热构件安装在传送机构上。

13.如权利要求1所述的曝光设备，其中驱动传送机构的驱动单元暴露和安装在传送机构的表面上。

14.如权利要求12所述的曝光设备，其中传送机构包括可移动部分，驱动单元被控制装置控制用于驱动，并且驱动单元包括步进电机，该步进电机产生驱动可移动部分的驱动力，

以及控制装置在步进电机待命时执行电流衰减控制。

15.如权利要求12所述的曝光设备，其中在驱动单元的表面上设有沿扫描方向延伸的散热片。

16.如权利要求12所述的曝光设备，还包括流动变化控制结构，所述流动变化控制结构实行控制使得当传送机构运动时沿扫描方向的方向吹动的空气的、在驱动单元周围处的流动的状态基本不变化。