[发明专利]固体摄像装置的制造方法、固体摄像装置及摄像机

权利要求书

1.一种固体摄像装置的制造方法，其是利用分隔层被第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜夹持而成的多层膜干涉滤光片来对入射光进行滤光的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括：

形成第一λ/4多层膜的工序；

在第一λ/4多层膜上形成分隔层的工序；

测量由第一λ/4多层膜和分隔层构成的膜的反射率特性，特定膜厚的工序；

形成第二λ/4多层膜的工序，其中，若特定的膜厚小于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚大于设计值，若特定的膜厚大于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚小于设计值。

2.一种固体摄像装置的制造方法，其是利用分隔层被第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜夹持而成的多层膜干涉滤光片来对入射光进行滤光的彩色固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括：

形成第一λ/4多层膜，并且在晶片上作为形成彩色固体摄像装置的区域以外的区域的参照区域上形成与第一λ/4多层膜相同的多层膜的工序；

在第一λ/4多层膜上形成分隔层，并且在参照区域上形成与分隔层相同的层的工序；

测量参照区域的反射率特性，特定膜厚的第三工序；

形成第二λ/4多层膜的工序，其中，若特定的膜厚小于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚大于设计值，若特定的膜厚大于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚小于设计值。

3.根据权利要求2所述的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，

包括第四工序，其蚀刻在第一λ/4多层膜上形成的分隔层和在参照区域上形成的与分隔层相同的层，

第三工序在第四工序后执行，按分隔层的膜厚测量参照区域的反射率特性。

4.根据权利要求2所述的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，

包括第五工序，其在分隔层上形成第二λ/4多层膜，并且在参照区域上形成与第二λ/4多层膜相同的多层膜，

第五工序在第三工序后执行。

5.一种固体摄像装置，其是利用多层膜干涉滤光片对入射光进行滤光的固体摄像装置，其特征在于，

多层膜干涉滤光片由第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜夹持分隔层而成，

第一λ/4多层膜的膜厚和第二λ/4多层膜的膜厚不同。

6.一种固体摄像装置，其特征在于，

具备多层膜干涉滤光片，具备检测不同波长域的光的单色用传感器，

第一单色用传感器接受外光，第一单色用传感器以外的单色用传感器接受其他单色用传感器反射的光。

7.一种摄像机，其特征在于，

具备固体摄像装置，所述固体摄像装置利用多层膜干涉滤光片对入射光进行滤光，

多层膜干涉滤光片由第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜夹持分隔层而成，

第一λ/4多层膜的膜厚和第二λ/4多层膜的膜厚不同。

8.一种摄像机，其特征在于，

具备固体摄像装置，所述固体摄像装置具备多层膜干涉滤光片，具备检测不同波长域的光的单色用传感器，

第一单色用传感器接受外光，第一单色用传感器以外的单色用传感器接受其他单色用传感器反射的光。