[发明专利]固体摄像装置的制造方法、固体摄像装置及摄像机

说明书

技术领域

本发明涉及固体摄像装置、其制造方法及摄像机，特别是涉及以高成品率制造固体摄像装置的技术。

背景技术

近年来，广泛普及的固体摄像装置具备滤色片用于色分离。

图9是表示现有技术的固体摄像装置的像素部分的截面图。如图9所示，半导体摄像装置9在半导体衬底901上依次形成栅绝缘膜903、转移电极903、层间绝缘膜905、遮光膜906、层间绝缘膜907、平坦化膜908、凸部909及单片滤色片910。

另外，在半导体衬底901的层间绝缘层907侧形成受光区域902。凸部909由与平坦化膜908相同的材料构成，呈凸透镜形状。单片滤色片910交替层叠二氧化硅(SiO₂)层910A和二氧化钛(TiO₂)膜910B而成。

这样一来，能够一次形成整个像素量的滤色片(专利文献1)。

专利文献1：特开2000-180621号公报

不过，现有技术的单片滤色片910的色分离功能由二氧化硅膜910A和二氧化钛膜910B的层数及各层的膜厚确定。即，要获得具有所期望的色分离功能的单片滤色片910，必须将构成单片滤色片910的全部的层以必要的膜厚准确地形成。

若详细叙述，则要实现按照设计所述的光谱特性，必须以膜厚的误差为2％以下的方式形成全部的层。很难以这样高的精度形成单片滤色片910，成品率低，从而不得不提高制造成本。当然，这个问题也给摄像机的成本也带来影响。

发明内容

本发明正是鉴于所述问题而产生的，其目的在于提供一种能够以更低的成本实现所期望的光学特性的固体摄像装置、其制造方法及摄像机。

为了实现所述目的，本发明提供一种固体摄像装置的制造方法，其是利用分隔层被第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜夹持而成的多层膜干涉滤光片来对入射光进行滤光的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括：形成第一λ/4多层膜的工序；在第一λ/4多层膜上形成分隔层的工序；测量由第一λ/4多层膜和分隔层构成的膜的反射率特性，特定膜厚的工序；形成第二λ/4多层膜的工序，其中，若特定的膜厚小于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚大于设计值，若特定的膜厚大于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚小于设计值。

若构成多层膜干涉滤光片的λ/4多层膜或分隔层的膜厚偏离设计值，则透过波长域发生偏离，与之相对，若像本发明这样，则即使第一λ/4多层膜或分隔层的膜厚偏离设计值，也能够通过调节第二λ/4多层膜的膜厚来消除透过波长域的偏离。

因而，能够实现优异的色分解功能，并且由于能够消除由于透过波长域的偏离而造成的成品率下降，因此还能够降低成本。

另外，本发明提供一种固体摄像装置的制造方法，其是利用分隔层被第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜夹持而成的多层膜干涉滤光片来对入射光进行滤光的彩色固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括：形成第一λ/4多层膜，并且在晶片上作为形成彩色固体摄像装置的区域以外的区域的参照区域上形成与第一λ/4多层膜相同的多层膜的工序；在第一λ/4多层膜上形成分隔层，并且在参照区域上形成与分隔层相同的层的工序；测量参照区域的反射率特性，特定膜厚的第三工序；形成第二λ/4多层膜的工序，其中，若特定的膜厚小于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚大于设计值，若特定的膜厚大于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚小于设计值。

这样一来，即使在构成彩色固体摄像装置的各个像素的面积小因而无法测量反射率特性的情况下，也能够通过测量参照区域的反射率特性，来推测彩色固体摄像装置的下位膜的膜厚，改变上位膜膜厚。

这种情况下，若包括第四工序，其蚀刻在第一λ/4多层膜上形成的分隔层和在参照区域上形成的与分隔层相同的层，第三工序在第四工序后执行，按分隔层的膜厚测量参照区域的反射率特性，则能够按构成彩色固体摄像装置的多层膜干涉滤光片的色区域来调节透过波长域。

另外，本发明的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括第五工序，其在分隔层上形成第二λ/4多层膜，并且在参照区域上形成与第二λ/4多层膜相同的多层膜，第五工序在第三工序后执行。这样一来，在参照区域上形成单色用传感器。因而，不会浪费参照区域，因此能够降低成本。

另外，本发明提供一种固体摄像装置，其是利用多层膜干涉滤光片对入射光进行滤光的固体摄像装置，其特征在于，多层膜干涉滤光片由第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜夹持分隔层而成，第一λ/4多层膜的膜厚和第二λ/4多层膜的膜厚不同。这样一来，能够以低成本提供高光学特性。