[发明专利]用于修正成像规律图案的辉纹的方法和设备

说明书

相关申请的引用

本申请要求2005年4月6日提交的美国专利申请号60/668799的优先权，该申请由此引用以供参考。对美国来说，本申请根据35U.S.C.§119要求美国专利申请号60/668799的权益。

技术领域

本发明涉及成像系统并且涉及用于评价和修正由规律图案的成像造成的辉纹(banding)的方法。

背景技术

制造显示器和半导体电子装置的通用技术牵涉到数个成像步骤。典型地，在每个步骤中，使涂敷有抗蚀剂或其它感光材料的衬底通过光掩膜暴露于辐射线，以实现某种变化。每个步骤具有一定程度的失败风险。每个步骤失败的可能性降低了总体工艺产量并且增加了成品的成本。

具体的例子是制造用于诸如液晶显示器之类的平板显示器的滤色器。由于材料的成本较高并且工艺产量较低，滤色器制造可能是费用很高的工艺。传统的光刻工艺牵涉到使用诸如旋涂、狭缝式涂布及旋转涂布或非旋转(spin-less)涂布之类的涂布技术将着色抗蚀材料施加到衬底上。然后使该材料经由光掩膜曝光并且显影。

有人提议将直接成像用在显示器的制造中，尤其是用在滤色器制造中。滤色器衬底，也称为染料接纳元件，用染料供给元件覆盖。对染料供给元件进行图像状(image-wise)的加热，以选择性地将染料从供给元件转印到接收元件。图像状加热典型地是借助激光束完成的。二极管激光器尤其优选，因为它们易于调制、成本低并且尺寸小。

″染料转印″工艺是特殊类型的″加热转印″工艺。其它热转印工艺包括：激光诱发熔融转印、激光诱发烧蚀转印和激光诱发质量转印。术语″热转印工艺″并不局限于染料的图像状转印。如本文中的用法，术语热转印工艺包括涂敷有颜料或其它着色剂组合物的供体(donor)的图像状转印。

直接成像系统典型地采用数百个单个调制的平行光束，以减少完成图像所花费的时间。具有大量这种″通道″的成像头是很容易得到的。例如，由Kodak Graphic Communications Canada Company(加拿大不列颠哥仑比亚省)制造的SQUAREspot热成像头的一种型号具有960个独立的成像通道，每个通道的能量超过25mW。可以这样控制成像通道的阵列：在一系列扫描带中写入图像，这些扫描带紧密邻接，以形成连续图像。

多通道成像系统的一个问题是，极难确保所有通道都具有相同的成像特性。通道间成像特性不同可能是由这些通道投影到成像介质上的输出辐射线的差异造成的。由成像通道阵列发射的输出辐射线的变化可能发源于通道与通道之间在功率、射束大小、射束形状和/或焦点方面的变化。这些变化有助于产生称为辉纹的常见成像伪像。辉纹通常在两个相继成像的扫描带之间的区域内特别明显。这主要是因为前一个成像扫描带的末尾与下一个成像扫描带的开头通常是由多通道阵列相对端的通道写入的。同样，这些通道就很有可能具有不同的成像特性。通道与通道间光斑大小的逐渐增大在扫描带本身中可能会可见或可能不会可见，但是当扫描带与另一个扫描带邻接时，扫描带边界上光斑大小的不连续性可能会在图像中造成明显伪像。辉纹可能是连续扫描带的重叠或分离以及各个扫描带内每一个的通道差异的函数。

精确的扫描带定位对于减轻辉纹来说是必需的，但是精确的扫描带定位自身并不能完全消除辉纹。因此需要通过调整扫描带自身内的通道来减小或屏蔽任何剩余程度的辉纹。这可能要求仔细对齐和校准阵列内的通道。可以尝试在成像阵列中的所有通道间建立均匀的功率分布，以使固有的通道与通道间差异最小。不过，由于前面提到的其它因素(例如，射束大小、射束形状和焦点)的作用，阵列的成像通道间的功率均匀并不能保证辉纹得到减小。

辉纹并非仅仅归咎于成像系统。成像介质可能也有助于辉纹。评价辉纹的各种不同方法牵涉到检查或表征成像介质。

当在生产滤色器过程中运用热转印工艺时，可能会出现几个问题。某些常见的滤色器具有间隔开的彩色元件行的重复图案。每行对应于三种颜色之一。每行的宽度典型地小于由成像头成像的扫描带的宽度。结果，可能会造成扫描带间辉纹，其中不同的颜色转印效率会导致在彩色元件行的不同彩色元件行之间以及在单个行内变化。由于这些行形成重复图案，  因此可能会造成人眼易于感觉到的视觉波动(visualbeating)，结果降低了滤色器的质量。