[发明专利]图像处理装置、图像描绘装置及系统

权利要求书

1.一种图像处理装置，与直接在基板上描绘以描绘用栅格数据表示的线图案的描绘装置连接、进行将表示所输入的所述布线图案的向量形式的图像数据向所述描绘用栅格数据展开的RIP处理，其特征在于：

所述图像处理装置具备检查单元，该检查单元在对所输入的所述图像数据进行所述RIP处理之前，针对所述图像数据，检查是否存在经过利用所述描绘装置进行的描绘工序后制造的基板中会产生不良的缺陷。

2.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，在检查所述图像数据中是否存在缺陷时，取得所述描绘装置在所述基板上描绘所述布线图案之际采用的描绘条件，按照取得的描绘条件，设定用于判定所述检查中的所述缺陷的的阈值，使用所设定的阈值进行所述检查。

3.如权利要求2所述的图像处理装置，其特征在于：所述描绘条件，是描绘所述布线图案之际采用的分辨率或在所述基板上设置的感光材料的种类。

4.如权利要求2所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，作为检查是否在所述制造的基板中会产生不良的缺陷的处理，进行至少检查下述项目中的一个的处理：

在所述图像数据表示的布线图案中，是否包含圆周长小于第1阈值的圆弧部；

在所述布线图案中，是否包含始点位置的半径与终点位置的半径之差为第2阈值以上的圆弧部；

在所述布线图案中，是否包含半径为第3阈值以上的圆弧部；

所述布线图案是否存在自原点的距离为第4阈值以上的坐标；

在所述图像数据表示的布线图案中，是否存在面积小于第5阈值的针孔区域；

在所述布线图案中，是否存在与邻接的图案互相重叠的区域的宽度小于第6阈值的图案；以及

在所述布线图案中，是否存在与互相邻接的图案的间隙小于第7阈值的图案。

5.如权利要求3所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，作为检查是否在所述制造的基板中会产生不良的缺陷的处理，进行至少检查下述项目中的一个的处理：

在所述图像数据表示的布线图案中，是否包含圆周长小于第1阈值的圆弧部；

在所述布线图案中，是否包含始点位置的半径与终点位置的半径之差为第2阈值以上的圆弧部；

在所述布线图案中，是否包含半径为第3阈值以上的圆弧部；

所述布线图案是否存在自原点的距离为第4阈值以上的坐标；

在所述图像数据表示的布线图案中，是否存在面积小于第5阈值的针孔区域；

在所述布线图案中，是否存在与邻接的图案互相重叠的区域的宽度小于第6阈值的图案；以及

在所述布线图案中，是否存在与互相邻接的图案的间隙小于第7阈值的图案。

6.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，至少进行检查下述项目中的一个的处理：

所述布线图案中是否包含使用圆以外的孔眼形状的线；

在所述布线图案中，是否包含构成始点位置和终点位置相同的封闭曲线而且在从始点位置到终点位置的途中与本线交叉的自我交叉线。

7.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，还检查所述图像数据中是否存在因所述RIP处理而会发生出错的缺陷。

8.如权利要求7所述的图像处理装置，其特征在于：所述检查单元，作为检查所述图像数据中是否存在因所述RIP处理而会发生出错的缺陷的处理，至少进行检查下述项目中的一个的处理：

所述图像数据中是否包含了所述RIP处理中可能处理的文字种类以外的文字；

所述布线图案的顶点的数量是否是第8阈值以上；以及

构成所述图像数据的层数是否是第9阈值以上。

9.如权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于：还具备数据生成单元，该数据生成单元在所述检查单元得出所述图像数据有缺陷的判断时，取得判断有所述缺陷的部位的所述布线图案上的坐标，根据取得的坐标，生成缺陷部位明示数据，该缺陷部位明示数据以能与所述图像数据表示的布线图案重叠显示的状态，在所述布线图案上的所述部位明示规定的标记。