[发明专利]图像处理装置、图像描绘装置及系统

说明书

技术领域

[0001]

本发明涉及图像处理装置、图像描绘装置及系统，特别涉及与直接在基板上描绘以描绘用栅格数据表示(raster data)的布线图案的描绘装置连接、进行将表示输入的布线图案的向量形式的图像数据向描绘用栅格数据展开的RIP处理的图像处理装置、具备该图像处理装置的图像描绘装置及图像描绘系统。

背景技术

[0002]

作为制造印刷布线基板(PWB：Print Wired Board)及平板显示器(FPD)的基板等之际的描绘方式，在现有技术中通常采用先将应该在基板上形成的布线图案曝光到胶片上，从而制成掩模后，再使用该掩模，通过面曝光，在基板上描绘所述布线图案的方式(称作“模拟描绘方式”)。但是近几年来，开始使用不制造掩模，根据表示布线图案的数字数据(描绘用栅格数据)，直接在基板上描绘布线图案的数字描绘方式(例如参照JP特开2004-184921号公报)。

[0003]

在采用数字描绘方式进行描绘的描绘系统中，设置在基板上进行描绘的描绘装置和与该描绘装置连接的图像处理装置，图像处理装置具有输入利用CAD(Computer Aided Design)/CAM(Computer Aided Manufacturing)编制的图像数据(表示应该在基板上形成的布线图案的向量形式，而且是一定格式的数据)，对输入的图像数据进行向描绘用栅格数据展开的RIP(Raster Image Processor)处理，向描绘装置供给RIP处理后获得的描绘用栅格数据的功能。

[0004]

可是，因为描绘用栅格数据是用和应该由描绘装置在基板上形成的布线图案相同的高分辨率表示的数据，所以数据量庞大，RIP处理需要花费较长的时间。因此，使用RIP处理后获得的描绘用栅格数据实际在基板上描绘布线图案制造基板时，例如发生相邻的图案的间隙不足等布线图案的不良产生时，需要在修正图像数据以便消除这些不良后，再度进行花费时间的RIP处理及在基板上进行描绘等后工序，因此存在着严重影响基板制造等作业的进度，同时还使基板被浪费的问题。

发明内容

[0005]

本发明就是考虑到上述事实后形成的，其目的在于获得能够防止经过利用描绘装置进行描绘工序后制造的基板由于图像数据而产生不良的现象的图像处理装置、图像描绘装置及图像描绘系统。

[0006]

为了达到上述目的，第1样态所述的发明涉及的图像处理装置，其特征在于：是与直接在基板上描绘以描绘用栅格数据表示的布线图案的描绘装置连接、进行将表示输入的所述布线图案的向量形式的图像数据向所述描绘用栅格数据展开的RIP处理的图像处理装置，具备检查单元，该检查单元在对输入的所述图像数据进行所述RIP处理之前，检查经过利用所述描绘装置进行的描绘工序后制造的基板是否由于所述图像数据而产生不良的缺陷。

[0007]

这样，即使输入的图像数据，经过利用描绘装置进行的描绘工序后制造的基板产生不良的缺陷，该缺陷也可以在对图像数据进行RIP处理之前，利用检查单元检知，从而可以根据检知的缺陷，在修正图像数据后，进行RIP处理，能够防止基板由于图像数据而产生不良的现象。

[0008]

而且，能够在进行RIP处理之前，检知成为上述不良的原因的图像数据的缺陷，不需要徒劳地反复进行RIP处理及利用描绘装置进行的描绘等工序，能够防止输入的图像数据的缺陷严重影响基板制造等作业的进度，基板由于上述缺陷而被浪费的问题。

[0009]

此外，经过利用描绘装置进行的描绘工序后制造的基板是否产生以图像数据为原因的不良，还与描绘装置在基板上描绘布线图案之际采用的描绘条件有关。考虑到这一点，例如在第1样态所述的发明中，检查单元例如第2样态所述的那样，在检查图像数据是否存在缺陷之际，最好取得描绘装置在基板上描绘布线图案之际采用的描绘条件，按照取得的描绘条件，设定用于判定所述检查中的缺陷的的阈值，使用设定的阈值进行检查。

[0010]