[发明专利]膜检查装置和膜检查方法

权利要求书

1.一种检查膜的不良的膜检查装置，其特征在于，包含：

照相机，具有发出透过上述膜的光的光源和多个受光部排列成的传感器，用该传感器扫描上述膜；

将用上述传感器扫描所得到的电荷信号变换为电压信号并从该电压信号分析膜的不良部分的单元；

存储用于从上述电压信号区别膜的不良部分的大小的多个大小阈值的单元；以及

将所分析的上述电压信号与上述多个大小阈值进行比较，求出该电压信号与哪个大小阈值相一致的单元。

2.如权利要求1中所述的膜检查装置，其特征在于，包含：

存储用于区别上述膜的不良部分的大小的基准数的单元；以及

将扫描上述不良部分的次数与基准数进行比较，求出该次数是否是基准数以上的单元。

3.如权利要求2中所述的膜检查装置，其特征在于：

上述进行分析的单元包含：

对上述电压信号进行微分的单元；

存储用于判定是否是上述膜的不良部分的判断用阈值的单元；以及

将所微分的上述电压信号与判断用阈值进行比较，判定是否是膜不良的单元。

4.如权利要求3中所述的膜检查装置，其特征在于，包含：

根据扫描上述膜的不良部分的次数、扫描间隔和膜的移动速度求出不良部分的长度的单元；以及

根据上述不良部分的长度和上述所微分的电压信号的波形对不良部分的种类进行分类的单元。

5.如权利要求4中所述的膜检查装置，其特征在于，包含：

存储扫描上述膜得到的上述膜的检查数据的存储单元；

显示所扫描的上述膜的画面；

在上述画面中指定所显示的上述膜的任意区域的区域指定单元；以及

从上述存储单元中所存储的上述检查数据中抽取用上述区域指定单元所指定的上述区域的检查数据的抽取单元。

6.如权利要求5中所述的膜检查装置，其特征在于，包含：

卷绕上述膜的单元；

在画面上指定上述膜被卷绕的状态的种类的卷绕状态指定单元；以及

读出在上述存储单元中所存储的上述检查数据，并将在该检查数据中所包含的上述膜的检查时的缺陷点在上述膜上的位置信息变换为与用上述卷绕状态指定单元所指定的种类对应的位置信息的变换单元。

7.如权利要求6中所述的膜检查装置，其特征在于：

在上述光源与传感器之间包含分别配置在上述膜的上方和下方的偏振片。

8.一种检查膜的不良的膜检查方法，其特征在于，包含：

使光透过上述膜的步骤；

用多个受光部排列成的传感器接受透过上述膜的光的步骤；

根据所接受到的上述光来生成电压信号，并根据该电压信号分析不良部分的步骤；以及

求出所分析的上述电压信号与多个大小阈值中的哪一个相一致的步骤。

9.如权利要求8中所述的膜检查方法，其特征在于，包含：

设置针对上述每个大小阈值而不同的基准数，并将接受了透过上述不良部分的光的受光部的数目与基准数进行比较的步骤。

10.如权利要求9中所述的膜检查方法，其特征在于：

上述膜利用加热延伸来制造，包含在使光透过膜时使膜在加热延伸时的拉出方向或其倾斜方向上移动的步骤。

11.如权利要求10中所述的膜检查方法，其特征在于：

上述进行分析的步骤包含：

对上述电压信号进行微分的步骤；以及

将所微分的上述电压信号与判断用阈值进行比较，判定是否是膜不良的步骤。

12.如权利要求11中所述的膜检查方法，其特征在于，包含：

根据接受了透过上述膜的不良部分的光的次数、受光间隔和膜的移动速度求出不良部分的长度的步骤；以及

根据上述不良部分的长度和上述所微分的电压信号的波形对不良部分的种类进行分类的步骤。