[发明专利]膜检查装置和膜检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及检查在膜中构成的微小的不良、例如鱼眼(FE)等的膜检查装置和检查方法。

背景技术

在膜的制造时有时发生被称为鱼眼的微小的不良。鱼眼是由于在制造膜时膜的材料未完全地熔融或在该材料中混入了杂质而发生的(参照专利文献1)。

根据膜的使用用途，有时鱼眼损害膜的功能和外观。例如，有作为半导体晶片的切割用的薄片而使用的膜。当在该膜中有鱼眼的情况下，在膜上不能平坦地放置半导体晶片。有可能半导体晶片切割失败。

一般根据膜的使用用途决定所容许的鱼眼的大小或每单位面积的数目。因此，开发并公开了各种各样的检查鱼眼的装置(参照专利文献2～7)。这些装置用line-sensor对膜进行摄影，对用line-sensor得到的数据进行2值化等的图像处理来检出鱼眼。

在图33中表示图像处理的流程的一个例子。如果从line-sensor的数据检出异常，则从膜的行进方向计算异常部分的长度。如果该长度长，则是划伤等。在这样的情况下，判定为严重的缺陷点。如果该长度短，则进行是否是鱼眼的判定。如果不是鱼眼，则判定为噪声。如果是鱼眼，则求出大小，进行分类。

但是，以往的检查装置有时因line-sensor的分辨率的缘故而不能准确地计算鱼眼的大小。例如，如果鱼眼是微小的，则即使能确认鱼眼的存在，有时也不能准确地求出鱼眼的大小。在这样的情况下，不能进行是否是所容许的鱼眼的判断。即，存在图33的大小的n级分类被line-sensor的分辨率所制约的危险。

此外，由于膜的种类，鱼眼不形成在膜的表面上。在膜的内部形成鱼眼，即使用肉眼也难以确认鱼眼。在这样的情况下，难以对用line-sensor得到了的数据进行图像处理来发现缺陷点。

如果能得到关于鱼眼的数据，则也希望以各种各样的方式利用该数据。即，如果不单单能发现缺陷点，而且使用者在膜的使用时可简单地认识缺陷点的位置，则是便利的。

专利文献1：特开2001-150429号公报

专利文献2：专利第3224623号公报

专利文献3：专利第3224624号公报

专利文献4：特开平8-105842号公报

专利文献5：特开平6-82385号公报

专利文献6：专利第2736521号公报

专利文献7：特开2004-109069号公报

发明内容

本发明提供一种检查在制造膜时发生的鱼眼等缺陷点并可有效地利用检查后的数据的检查装置和检查方法。

本发明的检查装置是检出膜的不良的装置，包含：照相机，具有发出透过上述膜的光的光源和多个受光部排列成的传感器，用该传感器扫描上述膜；将用上述传感器扫描所得到的电荷信号变换为电压信号并从该电压信号分析膜的不良部分的单元；存储用于从上述电压信号区别膜的不良部分的大小的多个大小阈值的单元；以及将所分析的上述电压信号与上述多个大小阈值进行比较，求出该电压信号与哪个大小阈值相一致的单元。

本发明的检查装置可包含：存储扫描上述膜得到的上述膜的检查数据的存储单元；显示所扫描的上述膜的画面；在上述画面中指定所显示的上述膜的任意区域的区域指定单元；以及从上述存储单元中所存储的上述检查数据中抽取用上述区域指定单元所指定的上述区域的检查数据的抽取单元。

再者，本发明的检查装置可包含：卷绕上述膜的单元；在画面上指定上述膜被卷绕的状态的种类的卷绕状态指定单元；以及读出在上述存储单元中所存储的上述检查数据，并将在该检查数据中所包含的上述膜的检查时的缺陷点在上述膜上的位置信息变换为与用上述卷绕状态指定单元所指定的种类对应的位置信息的变换单元。

再者，本发明的检查装置可在上述光源与传感器之间包含分别配置在上述膜的上方和下方的偏振片。

本发明的检查方法是检出膜的不良的方法，包含：使光透过上述膜的步骤；用多个受光部排列成的传感器接受透过上述膜的光的步骤；根据所接受到的上述光来生成电压信号，并根据该电压信号分析不良部分的步骤；以及求出所分析的上述电压信号与多个大小阈值中的哪一个相一致的步骤。

本发明的检查方法可包含：存储以对上述膜进行摄像得到的图像数据为基础的上述薄片的检查数据的存储步骤；利用操作者的输入在画面上指定上述膜上的任意区域的区域指定步骤；以及从上述存储步骤中所存储的上述检查数据中抽取用上述区域指定步骤所指定的上述区域的检查数据的抽取步骤。