[发明专利]薄片粘贴装置及粘贴方法有效
申请号: | 200680024323.8 | 申请日: | 2006-06-26 |
公开(公告)号: | CN101213647A | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
发明(设计)人: | 野中英明;中田干;小林贤治 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁国芳 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄片 粘贴 装置 方法 | ||
1.一种薄片粘贴装置,包括:薄片导引单元和压辊,其中,薄片导引单元将薄片导引到面对板状部件的位置上,压辊则对上述薄片施加按压力,使得从板状部件的一端向另一端粘贴薄片,其特征在于:
上述薄片导引单元,包括用于测定该薄片导引单元和上述压辊之间的薄片张力的张力测定机构;
上述张力测定机构,可常时测定通过上述压辊在板状部件上粘贴薄片期间的张力,并使张力保持恒定。
2.根据权利要求1记载的薄片粘贴装置,其特征在于:上述张力测定机构,包含测力传感器和张力测定辊,上述测力传感器在检测出张力变化的时候,可改变上述张力测定辊的位置,使张力保持恒定。
3.一种薄片粘贴装置,包括:薄片导引单元和压辊,其中,薄片导引单元将薄片导引到面对板状部件的位置上,压辊则对上述薄片施加按压力,使得从板状部件的一端向另一端粘贴薄片,其特征在于:
上述薄片导引单元,包含粘贴角度维持部件,该粘贴角度维持部件可相对于上述板状部件使薄片的粘贴角度保持恒定。
4.根据权利要求1、2或3记载的薄片粘贴装置,其特征在于:上述薄片导引单元含有剥离板,在从该剥离板前端到压辊之间被导引出的薄片的长度,设定成比上述板状部件的一端到另一端的长度稍长。
5.根据权利要求4记载的薄片粘贴装置,其特征在于:当上述薄片粘贴到板状部件的时候,上述剥离板的前端,设置成位于上述板状部件的所述另一端近旁的外侧。
6.一种薄片粘贴方法,在从薄片导引单元导引薄片的同时,用压辊按压薄片,将薄片粘贴在板状部件上,其特征在于:
对在上述压辊按压薄片进行粘贴期间的张力,常时进行测定;
通过张力测定机构,使张力保持恒定,同时把薄片粘贴到板状部件上。
7.一种薄片粘贴方法,在从薄片导引单元导引薄片的同时,用压辊按压薄片,将薄片粘贴在板状部件上,其特征在于:
上述薄片,在其相对于上述板状部件的粘贴角度被保持恒定的状态下被粘贴。
8.根据权利要求6或7记载的薄片粘贴方法,其特征在于:在从薄片导引单元到压辊为止被导引出的薄片的长度,保持在比从上述板状部件的一端到另一端的长度稍长的状态下,进行薄片粘贴。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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