[发明专利]半导体测试装置、功能板以及接口板

权利要求书

1、一种半导体测试装置，其特征在于包括：

测试头，其包括发出并处理在与被测试器件之间进行输入输出的测试信号的信号组件；

接口板，其具有与板本体以及所述信号组件电连接，且设置在所述板本体之上的多个插座、并被安装在所述测试头上；以及，

功能板，所述功能板在一面具有嵌合并电连接在所述插座上的连接器，另一面具有与所述连接器电连接，且能够安装所述被测试器件的测试用插口，通过将所述连接器嵌合在所述插座上，而安装在所述接口板上；

所述多个插座或者所述多个连接器，包括在所述连接器对所述插座插拔的方向，相对于所述板本体位移的升降插座及升降连接器。

2、根据权利要求1所述的半导体测试装置，其特征在于所述多个连接器以及所述插座被设置呈环状，包围安装在所述测试用插口上的所述被测试器件。

3、根据权利要求1所述的半导体测试装置，其特征在于所述多个连接器及所述插座被设置呈多个环状，包围安装在所述测试用插口上的所述被测试器件，所述多个环状互相具有共同的中心。

4，根据权利要求1至3任一所述的半导体测试装置，其特征在于相对于所述板本体弹性支撑的所述升降插座或所述升降连接器，与被插入的所述连接器共同沿所述插拔方向位移。

5、根据权利要求1所述的半导体测试装置，其特征在于所述插座具有与所述插座相辅的形状部分，通过用于多个保持所述插座的插座保持座(holder)，支撑在所述板本体上。

6、根据权利要求5所述的半导体测试装置，其特征在于所述插座保持座包括：

升降插座保持座，用于保持所述升降插座；所述升降插座保持座通过所述连接器对所述插座插拔的方向，相对于所述板本体位移，而沿所述连接器对所述插座的插拔方向，相对于所述板本体位移。

7、根据权利要求5或6所述的半导体测试装置，其特征在于其中，所述插座保持座设置呈环状，包围安装在所述测试用插口上的所述被测试器件。

8、根据权利要求5或6所述的半导体测试装置，其特征在于其中，所述插座保持座设置呈多个环状，包围安装在所述测试用插口上的所述被测试器件，且所述多个环状具有相互共同的中心。

9、根据权利要求7或7所述的半导体测试装置，其特征在于所述插座保持座分别保持具有相互相等的嵌合行程的所述插座。

10、根据权利要求6至10任何一项所述的半导体测试装置，其特征在于还包括：用于将所述升降插座保持座的位移向所述插座及所述连接器的插拔方向引导的导向装置、在所述升降插座保持座形成的相对于所述极板本体的表面倾斜的倾斜面、以及接触到所述倾斜面后，通过水平位移使所述升降插座保持座位移的驱动装置。

11、根据权利要求1至10任何一项所述的半导体测试装置，其特征在于所述升降插座及与此对应的所述连接器的嵌合行程比其他的所述插座以及与此对应的所述连接器的嵌合行程还长，在所述插座和所述连接器嵌合过程中，当所述其他的插座以及所述连接器的嵌合后，所述升降插座向所述连接器位移。

12、根据权利要求1至10任何一项所述的半导体测试装置，其特征在于所述升降插座以及与此对应的所述连接器的嵌合行程比其他的所述插座以及与此对应的所述连接器的嵌合行程还短，在所述插座和所述连接器嵌合过程中，在所述升降插座以及所述连接器嵌合之后，到所述其他的升降插座及所述连接器嵌合为止，所述升降插座及所述连接器位移。

13、根据权利要求1至12任何一项所述的半导体测试装置，其特征在于所述插座是具有由相互独立的电耦合构成的多个端子的多功能插座。

14、根据权利要求1至13任何一项所述的半导体测试装置，其特征在于所述插座是具有芯线和用于包裹所述芯线的屏蔽导线的同轴型插座。

15、一种接口板，其特征在于：所述接口板被安装在半导体装置的测试头上的板本体、所述接口板电连接在发出用于测试被测试器件的测试信号的信号组件上，且所述接口板包括设置在所述板本体上的多个插座，所述接口板装载了一个在其侧面具有嵌合并电连接在所述插座上的连接器的功能板，

所述多个插座包括在所述连接器对所述插座的插拔方向，相对于所述板位移的升降插座。

16、一种功能板，是具有能够在半导体测试装置的测试头上安装被测试器件的测试用插口的功能板，其特征在于其包括：

板本体，在一面上装载有所述测试用插口、

多个连接器，安装在所述板本体的另一面，相对嵌合于电连接在信号组件上的插座，所述信号组件发出用于测试被测试器件的测试信号，

所述多个连接器还包括在所述连接器对所述插座的插拔方向，相对于所述板本体位移的升降连接器。