[发明专利]促动器、光头装置及光信息装置

权利要求书

1. 一种促动器，具备对光进行调制的光调制部，

所述光调制部包括：

基座；

可动部，其具有光反射面，并相对于所述基座可位移；

弹性支承部，其对所述可动部进行支承；

固定电极部，其按照与所述可动部对置的方式形成在所述基座上；和

检测部，其对赋予给所述促动器的物理条件进行检测。

2. 根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，

所述检测部是所述可动部和所述固定电极部，

根据所述可动部与所述固定电极部之间的位移量来检测所述物理条 件。

3. 根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，

所述物理条件是温度、湿度、加速度、角速度、角加速度、压力的至 少一个。

4. 根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，

所述检测部是通过与所述光调制部的制作工艺相同的工艺而制作的 加速度传感器。

5. 根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，

通过所述可动部与所述固定电极之间产生的静电引力，使所述可动部 位移。

6. 根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，

所述检测部被配置于所述光调制部的至少一部分。

7. 根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，

所述检测部被配置于所述光调制部的外周部的至少一部分。

8. 一种促动器的制造方法，所述促动器根据可动电极与固定电极之 间产生的静电引力来使所述可动部位移，

该促动器的制造方法包括：

在基座上形成所述固定电极的步骤；

在所述固定电极上堆积第一牺牲层，并在所述第一牺牲层上形成所述 可动电极的步骤；

在所述可动电极上堆积第二牺牲层的步骤；

在所述第二牺牲层上形成沟槽时，使所述沟槽的一部分的宽度形成得 比其他部分宽的步骤，其中，所述沟槽用于堆积形成将所述可动电极与反 射镜部连接起来的肋的材料；和

向所述沟槽堆积所述材料，形成所述肋，并且在所述宽幅部分形成平 衡件的步骤。