[发明专利]促动器、光头装置及光信息装置

说明书

技术领域

本发明涉及进行信息的光学记录及/或再生的装置，尤其涉及一种具备 像差修正元件的装置。

背景技术

将具有凹坑(pit)状图案的光盘介质作为高密度、大容量的信息存储 介质而使用的光存储器技术，已将用途扩展到数字音频盘、视频盘、文本 文件盘和数字文件盘，并正在实用化。为了利用收拢得微小的激光从头至 尾以高可靠性执行向光盘介质记录信息和从光盘介质再生信息而需要的 功能，大至被划分为：形成衍射界限的光点的会聚功能、光学系统的焦点 控制(聚焦伺服)功能、跟踪控制(跟踪伺服)功能、和凹坑信号(信息 信号)检测功能。

为了进一步提高光盘介质的记录密度，通过增大光头中搭载的物镜的 数值孔径NA，并缩短光源的光的波长λ，由此缩小由物镜会聚的光的光 点直径。另外，为了进一步提高光盘介质的记录容量，在光盘介质中设置 了多个用于记录信息的记录层。

例如，在CD(Compact Disc)标准中，物镜的数值孔径NA为0.45， 光源的光的波长为780nm，相对于此，在更高记录密度化和大容量化的 DVD(Digital Versatile Disc)标准中，数值孔径NA为0.6，光的波长 为650nm。

可是，对于因光盘介质相对于光轴倾斜而产生的像差而言，光的波长 越短该像差越大。因此，为了利用更短波长的光源且获得良好的光点，有 效的方法是减薄基材厚度(从光盘介质的光入射侧表面到记录层的距离)， 以消除上述像差，CD中基材厚度为1.2mm，DVD中为0.6mm。

并且，在利用了蓝色激光的BD(Blu-ray Disc)标准中，数值孔 径NA为0.85，基材厚度为0.1mm。

由对光盘介质的记录层进行保护的基材厚度而引起的球面像差，与数 值孔径NA的四次方成比例。因此，当如BD标准那样将数值孔径NA较 大地设定为0.85时，在光学系统中设置了对球面像差进行修正的机构。

以往提出了一种根据光拾取装置的输出信号来检测特定种类的像差 并对其进行修正的技术，专利文献1与专利文献2中公开了：存在利用了 液晶元件的透过型像差修正元件、驱动薄膜反射镜或阵列化后的微反射镜 (micro mirror)的反射型像差修正元件。

进而，市场对电子设备小型化的要求越来越强烈，随着半导体微细加 工技术的进步，进行如像差修正元件这样的微细构造体的制作变得容易。 近年来，该技术被称为显微机械加工(micromachining)技术，应用了该 技术的微促动器(actuator)的开发也在积极进行。其中，作为产品化的例 子，存在静电电容检测型的加速度传感器。另外，作为其他例子，存在专 利文献3所公开的空间光调制装置。该空间光调制装置被作为视频投影仪 的图像显示器件而开发，以DMD(Digital Micromirror Device)的名称为 人所知。该微促动器的驱动方法中利用了静电引力，此外还有电磁力、热 应力和光吸引力等。

大多利用的驱动方法是静电引力。该方法能以低耗电将驱动电压抑制 得较低，还存在着响应速度快的优点。

进而，在专利文献4中公开了一种利用静电引力作为驱动力，并具备 根据静电电容变化来检测自身变位的变位检测功能的可变型反射镜。

另外，非专利文献1公开了一并搭载有温度传感器、压力传感器和湿 度传感器的芯片。与检测对象对应地个别设计这些各传感器，并在各传感 器中使用相互不同的材料，按每个传感器进行制造。

专利文献1：特开2000-155979号公报

专利文献2：特开2002-288873号公报

专利文献3：特开平8-334709号公报

专利文献4：特开2002-228813号公报

非专利文献1：“AN ALL-CAPACITIVE SENSING CHIP F OR TEMPERATURE，ABSOLUTE PRESSURE，AND RELA TIVE HUMIDITY”，IEEE 12th International Conference on Solid-State Sensors，Actuators and Microsystems，Bosto n，MA，June 2003