[发明专利]使用具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法

权利要求书

1. 一种使用具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法，在装备有包括流量设定机构、流量及压力的显示机构及或流量自诊断机构的具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统中，做成了利用上述流量控制装置的压力的显示值及或流量自诊断机构的诊断值检测上述流量控制装置及设在其上游侧及或下游侧的阀的异常的结构。

2. 如权利要求1所述的使用流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法，使作为异常检测的对象的阀为设在流量控制装置的上游侧的吹扫用气体供给系统的阀和工作气体供给系统的阀、以及设在流量控制装置的下游侧的工作气体使用系统中的阀，并且使检测的异常的种类为阀的开闭动作及座泄漏。

3. 如权利要求1或2所述的使用流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法，使流量控制装置的流量自诊断机构为将进行了初始设定的压力下降特性与诊断时的压力下降特性对比来诊断异常的机构，并且根据工作气体与吹扫用气体的混合气体流入时的上述诊断值的变化，检测工作气体供给系统或吹扫用气体供给系统的阀的座泄漏。

4. 如权利要求1、2或3所述的使用流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法，根据流量自诊断机构的流量自诊断时的压力下降特性的形态判断检测到的异常的原因。

5. 如权利要求1所述的使用流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法，经由工作气体使用系统的配管将流量控制装置的上游侧及下游侧的配管内抽真空，根据上述流量控制装置的压力的显示值检测各阀的座泄漏异常。

6. 如权利要求1或2所述的使用流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法，在检测到阀的座泄漏异常时，运算并显示其泄漏量Q(sccm)。

7. 如权利要求6所述的使用流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法，通过Q＝K·273·R/(273+T)(其中K是常数，T是温度(℃)，R是压力下降率(Pa abs·m³/s)，并且R在密闭配管系统的内容积v(m³)及Δt(sec)之间的压力指示值的变动是ΔP(Pa abs)时、是通过R＝-ΔP×v/Δt给出的值)运算从阀座的泄漏量Q(sccm)。