[发明专利]使用具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及使用具有压力传感器的流量控制装置检测流量控制装置及设在其上游侧及下游侧的阀的异常的方法，主要在半导体制造设备及化学相关设备中使用。

背景技术

在半导体制造设备及化学相关设备中，一般在流体供给系统的流量控制中广泛地使用压力式流量控制装置FCS和热式质量流量控制装置MFC。

此外，在上述压力式流量控制装置FCS中，具备检测声速喷嘴及节流孔等节流机构的上游侧及或下游侧的流体压力的压力传感器、和用来将各检测压力向外部显示的机构，通过该压力传感器，即使流体在现实中没有通过压力式流量控制装置FCS而流通，也能够容易地检测流体供给系统的各部分的压力。

相对于此，上述热式质量流量控制装置MFC难以如压力式流量控制装置FCS那样检测气体供给系统的各部分的压力而将其向外部显示。这是因为对于压力式流量控制装置FCS与热式质量流量控制装置MFC而言，使压力传感器的动作机构(压力的检测功能)基本上不同。

图13是表示使用由上述压力式流量控制装置FCS或热式质量流量控制装置MFC构成的流量控制装置D的流体供给系统的流量控制的基本的电路结构的图，这里设被控制流体是气体。

参照图13，在由上述压力式流量控制装置FCS或热式质量流量控制装置MFC构成的流量控制装置D的上游侧，以并列状连接有吹扫用气体供给系统B和工作气体供给系统A，并且在流量控制装置D的下游侧连接有工作气体使用系统C。

进而，在上述各气体供给系统A、B及气体使用系统C中分别夹设有阀V₁、V₂及V₃。

另一方面，如该图13的流体供给系统中，一般定期地检修阀V₁～V₃的动作状况等，该检修作业在通过工作气体使用系统C将所需的工作气体向既定部位稳定地供给方面是不可或缺的。

即，在上述阀V₁～V₃的检修(以下称作检查)中，通常进行各阀的动作状态(包括阀驱动器的动作)的检查、和各阀的座泄漏的检查。

但是，在使用热式质量流量控制装置MFC作为流量控制装置D的情况下，不能例如利用它检测工作气体使用系统C的气体压力的变动、根据该检测值检测阀V₃的座泄漏。

结果，在工作气体使用系统C的阀V₃的座泄漏检查时，需要将阀V₃从管路中拆下、利用另外设置的试验装置对其检查，有在阀V₃的座泄漏检查中需要许多工夫和时间的问题。

另外，这对于流量控制装置D的上游侧的阀V₁及阀V₂也同样，通常这些阀V₁、V₂的座泄漏是通过将各阀V₁、V₂从管路拆下、通过另外设置的座泄漏试验装置进行检查。因此，有需要许多工夫和时间的问题。

【专利文献1】特开平8-338546号

【专利文献2】特开2000-66732号

【专利文献3】特开2000-322130号

【专利文献4】特开2003-195948号

【专利文献5】特开2004-199109号

发明内容

本发明是为了解决以往的使用热式质量流量控制装置或其他结构的流量控制装置的气体供给系统中的如上述那样的问题、即在设于流量控制装置的上游侧及下游侧的阀的座泄漏等的检查时、必须将各阀从管路中拆下、在座泄漏的检查中需要许多工夫和时间的问题而做出的，目的是提供一种使流量控制装置为具备流量设定机构和流量及压力的显示机构及或流量自诊断机构的流量控制装置、利用该流量控制装置的压力传感器及上述各机构、不将各阀等从管路拆下而能够简单且正确地进行流量控制装置及配设在其上游侧及或下游侧的各阀的动作状态及座泄漏的检查的、使用具有压力传感器的流量控制装置的流体供给系统的异常检测方法。

此外，本发明的另一目的是在根据流量自诊断机构的诊断值检测到在阀或流量控制装置自身的动作中有异常的情况下、根据以作为该诊断的基础的压力下降特性的形态确定异常的发生原因并能够将其显示。

进而，本发明的另一目的是在检测到阀的座泄露异常的情况下、能够简单地运算产生的泄漏量并将其显示。