[发明专利]成膜用材料及成膜用材料的推定方法

权利要求书

1.一种成膜用材料，是蒸发量V(％)用下述公式表示的成膜用材料，

V＝(Ko/P)×e^-Ea/kT

其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度，

该成膜用材料的特征在于，通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值进行特定。

2.根据权利要求1所述的成膜用材料，其特征在于，在将压力P设为一定的状态下，所述活性化能量Ea根据表示使温度T变化时的载气中的材料浓度的特性获得，并且，所述常数Ko根据特定温度的特定的材料浓度决定。

3.根据权利要求1或2所述的成膜用材料，其特征在于，所述常数Ko在5.700×10¹⁴(％·Torr)～6.220×10¹⁴(％·Torr)的范围。

4.根据权利要求1或2所述的成膜用材料，其特征在于，所述常数Ko在2.600×10¹¹(％·Torr)～3.640×10¹¹(％·Torr)的范围。

5.一种推定方法，是对未知的成膜用材料进行推定的推定方法，其特征在于，根据载气中的材料浓度的测定结果，获得表示该未知材料的蒸发量V(％)的下述公式中的活性化能量Ea，

V＝(Ko/P)×e^-Ea/kT

其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度，

并且，根据特定温度的特定的材料浓度算出所述常数Ko，根据算出的常数Ko的值推定未知的成膜用材料。

6.一种成膜用材料，其特征在于，将温度定为250℃～500℃，将气氛中的浓度定为0.1％～10％，将压力定为10的负3次方Torr以上，并且具有满足用气氛中的材料浓度V(％)表示蒸发量的下述公式的活性化能量Ea及常数Ko，

V＝(Ko/P)×e^-Ea/kT

其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度。

7.根据权利要求6所述的成膜用材料，其特征在于，将温度定为300℃～450℃。

8.根据权利要求6或7所述的成膜用材料，其特征在于，气化并通过载气进行输送。

9.一种成膜方法，其特征在于，使权利要求6或7所述的成膜用材料在载气中蒸发到0.1％～10％的浓度，将所述载气输送到基板附近，在所述基板上形成所述成膜用材料的膜。

10.一种成膜用材料的解析方法，是用于在气化机构内气化并用载气输送到基板附近在所述基板上成膜的成膜用材料的解析方法，其特征在于，测定在将气化所述成膜用材料的温度定为一定时的所述气化机构内的压力和所述载气内的所述成膜用材料的浓度的关系，进行第1判定，即判定用x表示所述压力的倒数，用y表示所述浓度时，x和y实质上是否具有比例关系，

将所述气化机构内的压力定为一定，测定所述浓度和所述温度的关系，在将所述温度的倒数定为x，将所述浓度的对数定为y时，进行第2判定，即判定表示x-y平面内的所述浓度和所述温度的关系的曲线的斜率，是否不依存于所述压力而实质上为一定，

在所述第1判定及所述第2判定均为肯定时，所述成膜用材料在所述载气内的浓度可以用下述公式表示：

V＝(Ko/P)×e^-Ea/kT

其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度。